掃描電鏡與能譜儀分析技術 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

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張大同 著

圖書標籤:

• 掃描電鏡
• 能譜儀
• SEM
• EDS
• 材料分析
• 錶麵分析
• 微觀錶徵
• 分析技術
• 電子顯微鏡
• 材料科學

齣版社： 華南理工大學齣版社

ISBN：9787562328858

版次：1

商品編碼：10040023

品牌：墨點

包裝：平裝

開本：16開

齣版時間：2009-02-01

用紙：膠版紙

頁數：151

字數：213000

正文語種：中文

編輯推薦

　　《掃描電鏡與能譜儀分析技術》可供在金屬、高分子、無機、機械、微電子、半導體、礦物、化工、造紙等領域從事研究、生産的科技人員及大專院校師生參考。

內容簡介

　　本書是關於掃描電子顯微鏡和x-射綫能譜議的專著，全書共十章。一章至第七章介紹掃描電鏡基礎知識、電子束與樣品的相互作用、工作原理與結構、圖像襯度與成因、圖像質量與操作要點、幾種成像技術、電鏡安裝與驗收；第八章與第九章分彆介紹能譜儀的結構、原理和應用技術；第十章為樣品製備。
　　全書以實用為目的，結閤材料學科的特點，在理論闡述基礎上，提供切實可行的實驗技術。
　　本書可供在金屬、高分子、無機、機械、微電子、半導體、礦物、化工、造紙等領域從事研究、生産的科技人員及大專院校師生參考。

內頁插圖

目錄

第一章 基礎知識
一、分辨率和光的衍射
二、電子波和電磁透鏡
三、電磁透鏡的像差
四、幾種顯微鏡的比較
小結

第二章 電子束與樣品的相互作用
一、散射
二、相互作用區
三、樣品受激發齣射的主要信號
小結

第三章 掃描電鏡的工作原理和結構
一、常用概念
二、掃描電鏡的結構
三、掃描電鏡分類
小結

第四章 掃描電鏡圖像襯度和成因
一、形貌襯度
二、成分襯度
小結

第五章 掃描電鏡圖像質量和操作要點
一、襯度閾
二、分辨率限度
三、電子束斑直徑與束流的關係
四、操作要點
小結

第六章 掃描電鏡幾種成像與衍射技術
一、低電壓成像技術
二、低真空成像技術
三、環境掃描成像技術
四、電子背散射衍射技術
小結

第七章 掃描電鏡的安裝和驗收
一、安裝
二、驗收
小結

第八章 X射綫能譜儀
一、x射綫的産生和與物質的相互作用
二、能譜儀的結構
三、工作原理
四、能譜儀的分析特點與應用
五、能譜儀的安裝和驗收
六、X射綫分析限度
七、矽漂移探測器
小結

第九章 X射綫能譜儀分析技術
一、與采譜有關的幾個參數
二、電鏡加速電壓的選擇
三、X射綫吸收程
四、定性分析
五、定量分析
六、顆粒檢測技術
七、能譜儀的維護和校準
八、能譜儀與波譜儀的比較
小結

第十章 樣品製備技術
一、取樣
二、清潔
三、安裝
四、樣品截麵的製備
五、鍍膜
六、微區成分分析樣品製備技術
小結
參考文獻

精彩書摘

　　為瞭觀察0.5 ％的襯度值必須利用10A的束流，若仍利用10A的束流，其0.5 ％的襯度均消失在背景噪聲中。因此為瞭使低襯度能夠成像，隻好加大束流以滿足上式要求，但這必須付齣代價，即隻能用較大束斑尺寸工作，圖像的分辨率會顯著降低，微小細節無法辨認，這點將在後麵討論。
　　二、分辨率限度
　　分辨率是掃描電鏡的重要指標，通常定義為可分辨開的兩個最近物點的距離。通常利用測量分辨率的標準樣品，拍攝二次電子像，在圖像上測量可分辨開的兩個最近像點的間距6min。（見圖5—1），除以放大倍率M，即為分辨率尺：
　　電子束與樣品相互作用過程中産生的各種物理信號來自不同的取樣深度，選用不同的信號成像，就會得到不同的分辨率。二次電子能量低，一般小於50eV，在樣品中穿行的平均自由程不足10nm，隻能從錶麵淺層裏齣射，在這個區域裏，入射電子與樣品原子僅發生有限次數的散射，基本上未經橫嚮擴散就激發齣大量二次電子。因此，認為在樣品上方檢測到的二次電子主要來自與掃描束斑直徑相當的區域。在理想情況下，二次電子像的分辨率應等於束斑直徑。另外，二次電子對微區形貌最敏感，所以掃描電鏡分辨率的確定是以二次電子像為依據，各生産廠傢均遵循這個規定，二次電子像的分辨率即為掃描電鏡分辨率。
　　分辨率是衡量儀器性能的一個重要的綜閤性指標，在掃描電鏡中，最終獲得的分辨率受4個主要因素的限製：①儀器的電子光學性能；②樣品／探測器係統所産生的襯度；③樣品中信號的取樣區範圍；④周圍環境的影響。下麵進行詳細討論。
　　1.電子光學限度電子光學係統的作用是將直徑d。的電子源逐級縮小，提供一個直徑最小的掃描束斑dmin和最大的束流imin，以滿足圖像分辨率和襯度要求。在理想狀態下，如果電子光學係統的縮小倍率M足夠大，就可以獲得無限小的最終掃描束斑dp，電鏡的分辨率非常高。

前言/序言

　　隨著科學技術的發展，掃描電子顯微技術和X射綫微區分析已成為檢測物質性能的重要手段。我國目前已擁有相當數量的掃描電鏡和能譜儀，今後將會有更多的單位裝備這類先進儀器。掃描電鏡和能譜儀用於金屬、陶瓷、高分子、水泥、半導體、化工、礦産、紙張、食品等材料的顯微形貌觀察、相組織與晶體結構分析、微區化學成分檢測等，對零部件的失效分析、納米或復閤新材料的錶徵，是不可替代的設備。電子顯微分析應用隊伍也在不斷壯大，均需要有閤適的參考書籍以深入瞭解儀器的物理本質、工作原理、主要結構和實際應用。本書包含瞭上述基本內容，另外，對近年來電子顯微分析技術的新進展，如低電壓操作、可變壓力、環境掃描、電子背散射衍射、矽漂移探測器等，均做瞭詳實的介紹。對於能譜儀的應用和樣品製備技術，根據實踐經驗提供切實可行的指導和建議。本書對於儀器使用、學生培養、科研工作上水平都是非常必要的。
　　本書為適閤不同專業和水平的讀者使用，盡量減少繁瑣的理論細節和數學推導，力求深入淺齣地闡明問題，並結閤多年的工作經驗，在儀器應用方麵提供行之有效的建議。本書不僅適閤作為高校教材，而且對於工礦、企業和公司等用戶也是一本技術性和實用性強的專業參考書。
　　作者在此衷心感謝分析測試中心李傢明、陳永鏗工程師的有益討論和提供的照片；感謝郭莉萍與吳東曉等同事在齣書過程中的幫助和支持；感謝材料學院王輝、焦東玲老師，曹輝亮、鬍仁宗等博士生對原稿的編輯工作。中山大學測試中心趙文霞老師審閱瞭部分章節，在此深錶謝意。
　　由於作者水平有限，內容難免有錯誤和不妥之處，懇請讀者批評指正。

科學探索的微觀畫捲：從原子尺度到材料特性 本書並非關於掃描電鏡與能譜儀分析技術，而是將我們帶入一個更為宏觀，卻又同樣充滿奧秘的科學領域。我們將以一種全新的視角，探索生命、宇宙以及人類文明的演進。本書旨在激發讀者對科學的無限好奇，理解事物背後深刻的聯係，並認識到知識的邊界正在不斷拓展。 第一章：生命的起源與演化——宇宙塵埃中的奇跡 從構成一切物質的最基本粒子開始，我們追溯生命的起源。在宇宙大爆炸的餘暉中，簡單的元素如何匯聚，在漫長的歲月中，孕育齣復雜的有機分子？本書將深入探討早期地球的環境，以及在這些條件下，第一個生命的火花是如何被點燃的。我們將迴顧演化論的基石，理解DNA的齣現如何為生命的變異與適應提供瞭藍圖，以及基因的自然選擇如何塑造瞭如今我們所見的生物多樣性。 從單細胞生物的齣現，到多細胞生命的復雜化，本書將描繪地球生命演化壯麗的畫捲。我們將考察寒武紀生命大爆發的奇跡，見證恐龍時代的輝煌與隕落，探索哺乳動物的崛起，以及最終，人類的齣現如何改變瞭地球的麵貌。這其中，地理環境的變遷、氣候的波動、以及小行星撞擊等重大事件，都扮演著至關重要的角色。本書將以引人入勝的故事和科學事實，揭示生命演化的非綫性與偶然性，同時也強調其內在的邏輯與規律。 我們還將審視生命的適應性，從極端環境下的微生物，到深海的奇特生物，再到飛嚮天空的鳥類。這些生命的智慧，是如何通過數百萬年的演化而獲得？它們又為我們理解生命本身的本質，提供瞭怎樣的啓示？本書將鼓勵讀者跳齣固有的思維模式，去欣賞生命在不同尺度上的美麗與復雜。 第二章：宇宙的浩瀚與生命的意義——星辰大海中的迴響 本章將帶領讀者一同仰望星空，探索宇宙的起源、結構和未來。從我們所處的太陽係，到浩瀚的銀河係，再到億萬光年之外的星係團，我們將理解宇宙的尺度之大，超乎我們的想象。本書將介紹宇宙學的基本概念，如宇宙膨脹、暗物質、暗能量等，並探討當前天文學傢正在研究的熱門課題，例如黑洞的形成與性質、引力波的探測、以及係外行星的搜尋。 我們並非宇宙中唯一的智慧生命嗎？本書將積極探討地外生命的可能性。從宇宙中適閤生命存在的條件，到搜尋地外文明（SETI）的努力，我們將思考生命存在的普遍性與獨特性。即便我們尚未發現其他文明，思考這個問題本身，也將極大地拓展我們的視野，並促使我們重新審視自身在宇宙中的位置。 生命的意義，是人類永恒的哲學命題。本書將從科學的角度，探討生命存在的意義。是生物學上的繁衍與基因的延續？是意識的覺醒與精神的追求？還是在宇宙尺度上，為宇宙增添一絲短暫而獨特的存在？本書將鼓勵讀者進行深刻的自我反思，認識到生命的價值在於其獨特性、創造性以及與整個宇宙的連接。我們將理解，即使在浩瀚的宇宙中，每一個生命的存在，都自有其不可替代的價值。 第三章：人類文明的曙光與傳承——智慧的火炬如何傳遞 本章將聚焦人類文明的演進，從原始社會的萌芽，到農業革命的奠基，再到工業革命的飛躍，以及信息時代的到來。我們將考察人類社會組織形式的變遷，理解語言、文字、藝術、宗教等文化符號如何塑造瞭我們的身份認同。本書將強調知識的積纍與傳承，以及每一次重大的技術創新如何推動瞭人類文明的進程。 我們將探討不同文明之間的交流與碰撞，以及它們如何相互影響，共同構成瞭今天多元化的世界。從古老的絲綢之路，到大航海時代的發現，再到現代全球化的進程，本書將展現人類社會相互連接日益緊密的趨勢。同時，我們也將反思文明衝突的根源，並思考如何構建一個更加和諧共存的世界。 知識的獲取與傳播，是人類文明得以延續的關鍵。本書將強調教育的重要性，以及科學精神的普及對於社會進步的意義。從古代的智慧傳承，到現代的學術研究，再到互聯網時代的知識共享，我們將看到信息傳播方式的巨大變革。本書將鼓勵讀者保持終身學習的熱情，積極參與到知識的創造與傳播中來，為人類文明的未來貢獻力量。 第四章：探索未知的邊界——科學與哲學的交匯 在本章，我們將超越具體的科學領域，去探討科學研究本身的方法論和哲學基礎。我們將審視科學的演進過程，理解理論的提齣、實驗的驗證、以及科學範式的轉變。本書將強調批判性思維的重要性，以及保持開放心態去接納新思想的必要性。 我們將探討科學與哲學的關係，理解它們是如何相互啓發，共同推動人類對世界認知的深化。從古代哲學傢對自然現象的觀察，到現代科學理論的建立，我們可以看到兩者之間密不可分的聯係。本書將鼓勵讀者在學習科學知識的同時，也去思考那些更深層次的哲學問題，例如意識的本質、自由意誌的存在、以及道德的起源等。 未來的科學將走嚮何方？本書將展望科學研究的前沿領域，例如人工智能、基因編輯、量子計算、太空探索等。我們將討論這些新興技術可能帶來的機遇與挑戰，以及它們將如何重塑我們的生活和社會。本書將激勵讀者敢於想象，勇於探索，成為未來科學發展的參與者和貢獻者。 結語：一顆好奇的心，一場永無止境的探索 科學是一場永無止境的探索之旅。本書所描繪的，僅僅是這宏偉旅程中的一小部分。生命、宇宙、以及人類文明，每一個領域都蘊含著無盡的奧秘，等待著我們去發現。 本書並非提供終極的答案，而是希望點燃讀者心中那顆對未知世界的好奇之火。當我們以開放的視野去觀察，以理性的思維去思考，以探索的精神去實踐，我們將發現，科學無處不在，它滲透在我們生活的每一個角落，連接著我們與整個宇宙。 願本書能成為您探索科學奧秘的起點，願您在未來的探索之路上，收獲無盡的驚喜與啓迪。記住，最偉大的發現，往往源於最單純的好奇。

評分☆☆☆☆☆

這本書的裝幀風格更偏嚮於經典學術著作，給人一種厚重感和專業性。我是一名材料科學領域的在讀研究生，對掃描電鏡（SEM）和能譜儀（EDS）的應用有著迫切的需求。我希望這本書能夠提供關於這些儀器的操作指南，不僅僅是理論，更重要的是實踐層麵的指導。例如，在SEM部分，我希望瞭解到樣品的製備方法，不同材料（導電、絕緣）的製備技巧，以及高真空、低真空環境對成像的影響。對於EDS，我期待書中能詳細介紹如何進行能譜采集的最佳參數設置，比如加速電壓、束流大小、探測器距離等，以及如何進行定性與定量分析。更重要的是，我希望書中能夠包含一些關於數據後處理和圖像分析的章節，例如如何利用圖像處理軟件對SEM圖像進行形貌特徵提取，如何對EDS譜圖進行去背景、峰擬閤，以及如何將SEM形貌與EDS成分信息進行關聯分析。能夠找到一本兼顧理論深度和操作實踐的書籍，對我順利完成我的科研課題至關重要。

評分☆☆☆☆☆

這本書的名稱預示著它可能是一本深入探討微觀分析技術的專業書籍。我是一名在化學分析領域工作的研究人員，我的研究方嚮涉及復雜樣品的元素組成和微觀結構分析。我希望這本書能夠深入闡述掃描電鏡（SEM）和能譜儀（EDS）在這些分析中的高級應用。例如，在SEM部分，我期待看到關於高分辨率成像技術，如場發射槍（FEG-SEM）的應用，以及如何利用不同探測器組閤（如多探測器係統）來獲取更豐富的形貌和物相信息。對於EDS，我希望書中能詳細介紹其在痕量元素分析、錶麵化學態分析（如結閤XPS）以及二維/三維元素分布 mapping 中的應用。此外，我希望書中能夠探討一些前沿的分析技術，比如利用能量色散X射綫光譜（EDS）進行材料的相鑒定，或者結閤其他分析技術（如TEM-EDS）來解決更復雜的科研問題。對我而言，一本能夠提供最新研究進展和深入分析方法的書籍，將對我未來的研究工作産生深遠影響。

評分☆☆☆☆☆

這本書的標題直擊主題，讓我覺得它是一本非常實用的技術手冊。我是一名在實驗室工作的技術人員，日常工作需要頻繁使用掃描電鏡（SEM）和能譜儀（EDS）。我希望這本書能夠為我提供關於這些儀器日常維護、故障排除以及性能優化的寶貴經驗。例如，在SEM部分，我希望能瞭解到電子槍的維護保養方法，真空係統的清潔與檢查，以及各種成像模式的常見問題及解決方法。對於EDS，我期待書中能提供關於探測器清潔、校準的詳細步驟，以及如何處理譜圖中可能齣現的各種乾擾，比如重疊峰、背景噪聲等。此外，我也希望書中能有一些關於提高分析效率和數據質量的技巧，比如如何快速進行樣品定位，如何優化采集時間和計數率，以及如何選擇閤適的標準樣品進行定量校正。一本能夠幫助我提高工作效率並保證數據準確性的參考書，對我來說具有極高的價值。

評分☆☆☆☆☆

這本書的封麵設計相當樸實，甚至可以說有些年代感，這讓我一開始對內容産生瞭些許疑慮。然而，當我翻開第一頁，便被一股嚴謹的學術氣息所吸引。雖然書名點明瞭“掃描電鏡與能譜儀分析技術”，但我預期它會深入淺齣地講解這些復雜儀器的原理，並輔以大量的實驗案例，讓我這個初學者也能逐步掌握。我期待書中能夠詳細闡述不同類型掃描電鏡（SEM）的成像機製，比如二次電子（SE）、背散射電子（BSE）成像的原理和應用差異，以及如何根據樣品特性選擇閤適的成像模式。同時，對於能譜儀（EDS/EDX）的部分，我希望能看到關於其X射綫産生原理、能譜采集過程、譜圖解析技巧的詳盡介紹，包括如何識彆不同元素的特徵峰，如何進行定量分析，以及可能遇到的各種乾擾和校正方法。此外，我非常希望書中能夠包含一些典型的樣品分析實例，比如金屬材料的微觀形貌觀察、閤金元素的成分分析、礦物的相結構鑒定等，這些實際案例將是檢驗理論知識的最佳途徑，也能幫助我理解這些技術在實際科研和工業生産中的價值。

評分☆☆☆☆☆

看到這本書的書名，我立刻聯想到瞭它可能提供的關於微觀世界探索的奧秘。我是一名對物質科學充滿好奇的業餘愛好者，我希望這本書能夠以一種相對易懂的方式，嚮我展示掃描電鏡（SEM）和能譜儀（EDS）是如何工作的。我期待書中能用生動的語言解釋SEM成像的基本原理，比如電子束是如何與樣品相互作用，産生各種信號（二次電子、背散射電子）並最終形成圖像的。對於EDS，我希望能夠理解它為何能夠“看到”物質的成分，比如當電子束轟擊樣品時，為什麼會發齣特定能量的X射綫，以及這些X射綫又如何被探測器捕捉並轉化為成分信息。我不太需要過於復雜的數學公式和理論推導，更希望通過大量的圖示和類比，來幫助我理解這些概念。如果書中能夠展示一些令人驚嘆的SEM圖像，比如微觀結構的精美細節，或者EDS分析揭示的元素分布圖，那將極大地激發我的學習興趣。

評分☆☆☆☆☆

幫同事買的，送貨超快的，同事說服務很好！！

評分☆☆☆☆☆

快遞送貨快，書也很好

評分☆☆☆☆☆

內容挺基礎的，比較容易懂，利於初學者。不足之處就是缺少實例。

評分☆☆☆☆☆

快遞送貨快，書也很好

評分☆☆☆☆☆

單位買瞭掃描電鏡，這本書很實用

評分☆☆☆☆☆

能夠滿足掃盲者的需求，對於要求專業的學生不太適閤。

評分☆☆☆☆☆

收到書很滿意，真的是正版的

評分☆☆☆☆☆

因為得不到奬勵幾分,我就給個差評哈

評分☆☆☆☆☆

能夠滿足掃盲者的需求，對於要求專業的學生不太適閤。