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內容簡介

　　《半導體科學與技術叢書：透明氧化物半導體》重點闡述瞭已經得到廣泛應用或具有重要應用前景的8種氧化物半導體的製備技術、晶體結構、形貌、缺陷、電子結構、電學性質、磁學性質、壓電性質、光學性質和氣敏性質，既包含瞭作者近30年的研究成果，又反映瞭國內外透明氧化物半導體重要研究成果，既包含瞭早期透明氧化物半導體成熟理論，又反映瞭當前國際上透明氧化物半導體的較新成果，重點突齣，內容係統、全麵、新穎，具有重要的科學意義和應用價值。

目錄

前言緒論第1章 氧化物薄膜的製備技術1．1 真空蒸發技術1．1．1 金屬和化閤物蒸發1．1．2 蒸發源的加熱裝置1．2 MBE技術1．3 濺射技術1．3．1 雙極直流反應濺射1．3．2 偏壓濺射1．3．3 射頻濺射1．3．4 磁控濺射1．3．5 離子束濺射1．4 離子鍍技術1．5 CVD技術1．5．1 APCVD和LPCVD技術1．5．2 PECVD技術1．5．3 MOCVD技術1．6 溶液鍍膜技術1．6．1 噴塗高溫分解1．6．2 浸塗技術1．6．3 化學溶解生長1．6．4 sol-gel技術1．7 陽極氧化技術1．7．1 陽極氧化技術1．7．2 等離子體陽極氧化技術參考文獻
第2章 氧化物半導體基礎2．1 金屬氧化物晶體結構2．1．1 MO型金屬氧化物的典型晶體結構2．1．2 MO2型金屬氧化物晶體的典型晶體結構2．1．3 M2O3型金屬氧化物的典型晶體結構2．2 金屬氧化物的缺陷2．2．1 金屬氧化物晶體缺陷類型2．2．2 金屬氧化物晶體點缺陷理論基礎2．3 金屬氧化物半導體的電學性質2．3．1 金屬氧化物半導體的電子結構2．3．2 金屬氧化物半導體的載流子濃度2．3．3 金屬氧化物半導體載流子輸運散射機製2．4 氧化物半導體的磁學性質2．4．1 稀磁氧化物半導體的摻雜元素2．4．2 氧化物半導體的鐵磁性起源2．5 透明氧化物半導體的光學性質2．5．1 透明氧化物半導體的光學常數2．5．2 Burstein—Moss移動2．5．3 透明氧化物半導體薄膜的PL特性2．6 金屬氧化物半導體的氣敏特性參考文獻
第3章 ZnO薄膜3．1 ZnO薄膜的晶體結構3．1．1 ZnO的晶體結構3．1．2 ZnO薄膜的XRD譜3．1．3 ZnO薄膜的Raman譜3．1．4 ZnO薄膜的RHEED圖案3．1．5 ZnO薄膜的HRTEM圖像3．2 ZnO的電子結構3．3 ZnO的本徵點缺陷3．4 ZnO薄膜的電學性質3．4．1 本徵ZnO的弱n型導電3．4．2 ZnO的摻雜3．4．3 ZnO薄膜載流子散射機製3．5 ZnO薄膜的磁學性質和壓電性質3．5．1 ZnO基稀磁半導體3．5．2 ZnO薄膜的壓電性質3．6 ZnO薄膜的光學性質3．6．1 ZnO薄膜的光透射譜3．6．2 ZnO薄膜的PL特性3．6．3 ZnO薄膜的激子受激發射特性參考文獻
第4章 SnO2薄膜4．1 SnO2薄膜的晶體結構4．1．1 SnO2的晶體結構4．1．2 SnO2薄膜的XRD譜4．1．3 SnO2薄膜的Raman譜4．1．4 SnO2薄膜的TEM和HRTEM圖像4．1．5 SnO2薄膜的XPS譜4．1．6 SnO2薄膜的RBS譜4．2 金紅石Sn02的電子結構4．3 SnO2薄膜的電學性質4．3．1 金紅石SnO2的本徵缺陷4．3．2 金紅石SnO2薄膜的摻雜4．3．3 金紅石SnO2薄膜載流子散射機製4．3．4 鈮鐵礦SnO2薄膜的電學性質4．4 SnO2薄膜的磁學性質4．5 SnO2薄膜的光學特性4．5．1 SnO2薄膜的光透射譜4．5．2 SnO2薄膜的PL特性4．6 金紅石SnO2薄膜的氣敏特性參考文獻
第5章 TiO2薄膜5．1 TiO2薄膜的晶體結構5．1．1 TiO2的晶體結構5．1．2 TiO2薄膜的XRD譜5．1．3 TiO2薄膜的Raman譜5．1．4 TiO2薄膜的XPS譜5．1．5 TiO2的RBS譜5．2 TiO2的電子結構5．3 TiO2的本徵點缺陷5．4 TiO2薄膜的電學性質5．5 TiO2薄膜的磁學性質5．6 TiO2薄膜的光學性質5．6．1 TiO2薄膜的光透射譜5．6．2 TiO2薄膜的PL特性5．6．3 TiO2薄膜的光學常數5．7 TiO2薄膜的光催化特性參考文獻
第6章 In2O3薄膜6．1 In2O3薄膜的晶體結構6．1．1 In2O3薄膜的晶體結構6．1．2 In2O3薄膜的XRD譜6．1．3 In2O3薄膜的Raman譜6．1．4 In2O3薄膜的HRTEM圖像6．1．5 In2O3薄膜的XPS譜6．1．6 In2O3薄膜的RBS譜6．2 In2O3的電子結構6．3 IIn2O3薄膜的電學性質6．3．1 In2O3的本徵點缺陷6．3．2 In2O3薄膜的電導特性6．3．3 In2O3薄膜載流子散射機製6．4 In2O3薄膜的磁學性質6．5 In2O3薄膜的光學性質6．5．1 In2O3薄膜的光透射譜6．5．2 In2O3薄膜的PL特性6．5．3 In2O3薄膜的光學常數6．6 In2O3薄膜的氣敏特性參考文獻
第7章 Ga2O3薄膜7．1 Ga2O3薄膜的晶體結構7．1．1 Ga2O3的晶體結構7．1．2 Ga2O3薄膜的XRD譜7．1．3 β-Ga2O3的薄膜HRTEM圖像7．1．4 β-Ga2O3薄膜的Raman譜7．1．5 β-Ga2O3的XPS譜7．1．6 Ga2O3薄膜的RBS譜7．2 Ga2O3的電子結構7．3 Ga2O3薄膜的電學性質7．3．1 Ga2O3的點缺陷7．3．2 Ga2O3薄膜的電學性質7．4 Ga2O3薄膜的光學性質7．4．1 Ga2O3薄膜的光透射譜7．4．2 GGa2O3薄膜的PL特性7．4．3 Ga2O3的薄膜CL特性7．4．4 Ga2O3薄膜的光學常數7．5 β-Ga2O3薄膜的氣敏特性參考文獻
第8章 MgZnO薄膜8．1 MgZnO薄膜的晶體結構8．1．1 MgZnO薄膜的晶體結構8．1．2 MgZnO薄膜的XRD譜8．1．3 MgZnO薄膜的Raman譜8．1．4 MgZnO薄膜的AFM圖像8．1．5 MgZnO薄膜的TEM和HRTEM圖像8．1．6 MgZnO的XPS譜8．1．7 MgZnO薄膜的RBS譜8．2 MgZnO的電子結構8．3 MgznO薄膜的電學和磁學性質8．3．1 MgZnO薄膜的電學性質8．3．2 MgZnO薄膜的磁學性質8．4 MgZnO的光學性質8．4．1 MgZnO薄膜的光透射譜8．4．2 MgZnO薄膜的PL特性8．4．3 MgZnO薄膜的長波光學聲子性質8．4．4 MgZnO薄膜的光學常數參考文獻
第9章 GaIno和InGazno薄膜9．1 引言9．2 GaInO薄膜9．2．1 GaInO薄膜的晶體結構9．2．2 GaInO薄膜的電學性質9．2．3 GaInO薄膜的光學性質9．3 InGaZnO薄膜9．3．1 InGaZnO薄膜的晶體結構9．3．2 InGaZnO薄膜的電學性質9．3．3 InGaZnO薄膜的光學性質參考文獻
第10章 透明氧化物電子學10．1 引言10．2 透明氧化物薄膜晶體管10．2．1 C—IGZO—TFT10．2．2 a—IGZO—TFT10．2．3 ZnO—一TFT10．3 紫外發光二極管和激光二極管10．3．1 UV—LED10．3．2 UV—LD10．4 透明UV探測器參考文獻
索引《半導體科學與技術叢書》已齣版書目彩圖

前言/序言

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