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内容简介

　　《金属有机化合物气相外延基础及应用》共10章：第1章概述；第2章生长系统；第3章原材料；第4章MOVPE生长热力学和反应动力学；第5章MOVPE反应室内的输运现象与模型化；第6章MOVPE中的表面过程；第7章Ⅲ—Ⅴ族化合物半导体的MOVPE生长；第8章Ⅱ—Ⅵ族族半导体的MOVPE生长；第9章低维结构的MOVPE生长；第10章MOVPE技术在器件方面的应用。
　　《金属有机化合物气相外延基础及应用》反映了国内外该研究领域的新进展，并附有大量的参考文献。在写作风格上，以大学高年级学生水平为出发点，突出物理内容，避免冗长公式，深入浅出。
　　《金属有机化合物气相外延基础及应用》是国内全面系统地介绍MOVPE的专著，从理论和实践两个方面分别论述了该技术的生长系统和原材料特性等实验基础、MOVPE生长热力学、化学反应动力学和输运现象等理论基础。在此基础上系统介绍了Ⅲ—Ⅴ族和Ⅱ—Ⅵ族化合物半导体材料生长及其量子阱、量子点等低维结构的MOVPE生长，以及在光电器件和电子器件方面的应用。书中附有大量参考文献，以便读者进一步参考。
　　《金属有机化合物气相外延基础及应用》可供从事半导体科研和生产的科研人员、大专院校教师和研究生使用。

内页插图

目录

前言
第1章 绪论
1．1 外延生长
1．2 MOVPE概述
参考文献

第2章 MOVPE生长系统
2．1 MOVPE气体输运分系统
2．2 MOVPE生长反应室分系统
2．3 MOVPE尾气处理分系统
2．4 MOVPE生长控制装置分系统
2．5 MOVPE外延层生长的原位监测
参考文献

第3章 原材料
3．1 金属有机化合物源
3．2 氢化物源
参考文献

第4章 MOVPE的热力学分析
4．1 外延生长速度的限制机构
4．2 MOVPE生长的固溶体固相成分与气相成分关系
4．3 MOVPE生长相图与单凝聚相生长区
4．4 掺杂
参考文献

第5章 MOVPE化学反应动力学和质量输运
5．1 MOVPE化学反应动力学
5．2 MOVPE反应室内的输运现象与模型化
5．3 MOVPE化学反应-输运模型的应用
参考文献

第6章 MOVPE的表面过程
6．1 表面成核
6．2 外延生长模式
6．3 MOVPE环境下的表面再构
6．4 表面活性剂
参考文献

第7章 Ⅲ-Ⅴ族半导体材料的MOVPE生长
7．1 GaAs及其固溶体的MOVPE生长
7．2 InP、GaP及其有关化合物的MOVPE生长
7．3 锑化物的MOVPE生长
7．4 氮化物的MOVPE生长
7．5 选择外延生长和非平面衬底上的外延生长
7．6 Si、Ge上Ⅲ-Ⅴ族半导体的MOVPE生长
参考文献

第8章 Ⅱ-Ⅵ族半导体材料的MOVPE生长
8．1 ZnSe及其有关化合物的MOVPE生长
8．2 ZnO及其固溶体的MOVPE生长
8．3 HgCdTe的MOVPE生长
参考文献

第9章 低维半导体材料的MOVPE生长
9．1 量子阱结构的MOVPE生长
9．2 量子点和量子线结构的生长
参考文献

第10章 MOVPE技术在半导体器件方面的应用
10．1 发光二极管
10．2 激光器
10．3 太阳能电池
10．4 半导体光探测器
10．5 高电子迁移率场效应晶体管
10．6 异质结双极晶体管
10．7 光电集成电路
参考文献
后记

前言/序言

　　金属有机化合物气相外延（MOVPE）是20世纪60年代末期发展起来的利用金属有机化合物进行金属输运的一种化合物半导体气相外延新技术。在MOVPE发展之初就显现出制备多种化合物半导体和进行异质外延生长的优点。随着能带工程概念的提出，如何生长低维结构半导体材料和制造低维结构器件就成为研究的热点。MOVPE技术由于能在纳米尺度上精确控制外延层的厚度、组分、掺杂及异质结界面，所以其与分子束外延（MBE）技术一起成为制备化合物半导体异质结、低维结构材料的重要方法，推动了半导体物理学和材料科学的发展，以全新的概念改变了光、电器件的设计思想，为新一代性能更好的固态量子器件研制打下了基础。与MBE相比，MOVPE更适合于批量生产，现已成为生产光电器件的主要手段，并且也应用于高速电子器件的研制与生产中。
　　我国MOVPE技术的探索工作始于20世纪70年代中期，在国家自然科学研究基金、“863”计划、“973”计划等支持下，80年代逐渐在研究所和大学展开，90年代在国家多项产业化项目推动下，利用MOVPE制造的半导体激光器、高亮度发光管、太阳能电池和高速电子器件等都已实现产业化。当前我国的MOVPE事业正处在前所未有的快速发展期。然而，目前我国尚无论述MOVPE技术的专门著作。现有的散见于丛书或其他书中简单介绍MOVPE的篇章与MOVPE学科的发展和当前的实际需要十分不相称。适逢《半导体科学与技术丛书》出版之际，我们下决心将过去出版的有关MOVPE技术专题加以扩充，撰写一本比较全面系统论述MOVPE技术的专著。我们结合我国实际，力图反映国内外最新进展，以满足我国半导体科学技术发展的需要。
　　MOVPE技术涉及物理、化学等许多学科，是多项高技术的综合，它既属于材料科学，又是器件制造中的一个重要工艺。本书从理论和实践两方面加以论述。全书分四部分：相关的实验基础、理论基础、具体材料生长和在器件方面的应用。在相关的实验基础上，对MOVPE设备、原材料进行了比较全面的评述。在生长机理方面，不仅讨论了热力学、动力学和流体力学模型，也介绍了实验研究方法。在具体材料生长方面分层次地论述了单层、异质结和低维结构。在器件方面的应用也作了介绍。本书力求突出物理内容，避免冗长公式，深入浅出，我们希望本书对广大科技工作者、研究生和高年级本科生能有切实的帮助。
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