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內容簡介

　　《金屬有機化閤物氣相外延基礎及應用》共10章：第1章概述；第2章生長係統；第3章原材料；第4章MOVPE生長熱力學和反應動力學；第5章MOVPE反應室內的輸運現象與模型化；第6章MOVPE中的錶麵過程；第7章Ⅲ—Ⅴ族化閤物半導體的MOVPE生長；第8章Ⅱ—Ⅵ族族半導體的MOVPE生長；第9章低維結構的MOVPE生長；第10章MOVPE技術在器件方麵的應用。
　　《金屬有機化閤物氣相外延基礎及應用》反映瞭國內外該研究領域的新進展，並附有大量的參考文獻。在寫作風格上，以大學高年級學生水平為齣發點，突齣物理內容，避免冗長公式，深入淺齣。
　　《金屬有機化閤物氣相外延基礎及應用》是國內全麵係統地介紹MOVPE的專著，從理論和實踐兩個方麵分彆論述瞭該技術的生長係統和原材料特性等實驗基礎、MOVPE生長熱力學、化學反應動力學和輸運現象等理論基礎。在此基礎上係統介紹瞭Ⅲ—Ⅴ族和Ⅱ—Ⅵ族化閤物半導體材料生長及其量子阱、量子點等低維結構的MOVPE生長，以及在光電器件和電子器件方麵的應用。書中附有大量參考文獻，以便讀者進一步參考。
　　《金屬有機化閤物氣相外延基礎及應用》可供從事半導體科研和生産的科研人員、大專院校教師和研究生使用。

內頁插圖

目錄

前言
第1章 緒論
1．1 外延生長
1．2 MOVPE概述
參考文獻

第2章 MOVPE生長係統
2．1 MOVPE氣體輸運分係統
2．2 MOVPE生長反應室分係統
2．3 MOVPE尾氣處理分係統
2．4 MOVPE生長控製裝置分係統
2．5 MOVPE外延層生長的原位監測
參考文獻

第3章 原材料
3．1 金屬有機化閤物源
3．2 氫化物源
參考文獻

第4章 MOVPE的熱力學分析
4．1 外延生長速度的限製機構
4．2 MOVPE生長的固溶體固相成分與氣相成分關係
4．3 MOVPE生長相圖與單凝聚相生長區
4．4 摻雜
參考文獻

第5章 MOVPE化學反應動力學和質量輸運
5．1 MOVPE化學反應動力學
5．2 MOVPE反應室內的輸運現象與模型化
5．3 MOVPE化學反應-輸運模型的應用
參考文獻

第6章 MOVPE的錶麵過程
6．1 錶麵成核
6．2 外延生長模式
6．3 MOVPE環境下的錶麵再構
6．4 錶麵活性劑
參考文獻

第7章 Ⅲ-Ⅴ族半導體材料的MOVPE生長
7．1 GaAs及其固溶體的MOVPE生長
7．2 InP、GaP及其有關化閤物的MOVPE生長
7．3 銻化物的MOVPE生長
7．4 氮化物的MOVPE生長
7．5 選擇外延生長和非平麵襯底上的外延生長
7．6 Si、Ge上Ⅲ-Ⅴ族半導體的MOVPE生長
參考文獻

第8章 Ⅱ-Ⅵ族半導體材料的MOVPE生長
8．1 ZnSe及其有關化閤物的MOVPE生長
8．2 ZnO及其固溶體的MOVPE生長
8．3 HgCdTe的MOVPE生長
參考文獻

第9章 低維半導體材料的MOVPE生長
9．1 量子阱結構的MOVPE生長
9．2 量子點和量子綫結構的生長
參考文獻

第10章 MOVPE技術在半導體器件方麵的應用
10．1 發光二極管
10．2 激光器
10．3 太陽能電池
10．4 半導體光探測器
10．5 高電子遷移率場效應晶體管
10．6 異質結雙極晶體管
10．7 光電集成電路
參考文獻
後記

前言/序言

　　金屬有機化閤物氣相外延（MOVPE）是20世紀60年代末期發展起來的利用金屬有機化閤物進行金屬輸運的一種化閤物半導體氣相外延新技術。在MOVPE發展之初就顯現齣製備多種化閤物半導體和進行異質外延生長的優點。隨著能帶工程概念的提齣，如何生長低維結構半導體材料和製造低維結構器件就成為研究的熱點。MOVPE技術由於能在納米尺度上精確控製外延層的厚度、組分、摻雜及異質結界麵，所以其與分子束外延（MBE）技術一起成為製備化閤物半導體異質結、低維結構材料的重要方法，推動瞭半導體物理學和材料科學的發展，以全新的概念改變瞭光、電器件的設計思想，為新一代性能更好的固態量子器件研製打下瞭基礎。與MBE相比，MOVPE更適閤於批量生産，現已成為生産光電器件的主要手段，並且也應用於高速電子器件的研製與生産中。
　　我國MOVPE技術的探索工作始於20世紀70年代中期，在國傢自然科學研究基金、“863”計劃、“973”計劃等支持下，80年代逐漸在研究所和大學展開，90年代在國傢多項産業化項目推動下，利用MOVPE製造的半導體激光器、高亮度發光管、太陽能電池和高速電子器件等都已實現産業化。當前我國的MOVPE事業正處在前所未有的快速發展期。然而，目前我國尚無論述MOVPE技術的專門著作。現有的散見於叢書或其他書中簡單介紹MOVPE的篇章與MOVPE學科的發展和當前的實際需要十分不相稱。適逢《半導體科學與技術叢書》齣版之際，我們下決心將過去齣版的有關MOVPE技術專題加以擴充，撰寫一本比較全麵係統論述MOVPE技術的專著。我們結閤我國實際，力圖反映國內外最新進展，以滿足我國半導體科學技術發展的需要。
　　MOVPE技術涉及物理、化學等許多學科，是多項高技術的綜閤，它既屬於材料科學，又是器件製造中的一個重要工藝。本書從理論和實踐兩方麵加以論述。全書分四部分：相關的實驗基礎、理論基礎、具體材料生長和在器件方麵的應用。在相關的實驗基礎上，對MOVPE設備、原材料進行瞭比較全麵的評述。在生長機理方麵，不僅討論瞭熱力學、動力學和流體力學模型，也介紹瞭實驗研究方法。在具體材料生長方麵分層次地論述瞭單層、異質結和低維結構。在器件方麵的應用也作瞭介紹。本書力求突齣物理內容，避免冗長公式，深入淺齣，我們希望本書對廣大科技工作者、研究生和高年級本科生能有切實的幫助。
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