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內容簡介

　　 微機電係統（MEMS）技術研究主要針對微小係統 ，它在汽車、無綫電話、數碼相機 以及醫療設備等方麵都有著廣泛的應用。李基邦編著 的這本《微機電係統原理》通過作者研究以及參考其 他有價值的文獻， 針對MEMS提齣瞭統一法和封閉形式解方法，便於讀者 更好地理解MEMS中的綫性和非綫 性問題，以及開展相關應用設計。
全書共分九章，第一章為緒論部分，介紹瞭微機 電係統的量綱分析法。第二章介紹瞭 微製造技術。第三章為微機電係統在靜力平衡條件下 的靜力學分析。第四章為微結構的靜 力性能分析。第五章為微機電係統動力學分析。第六 章為微機電係統流體力學分析。第七 章介紹MEMS設計中涉及的基於電磁學的基本方程。第 八章和第九章介紹如何通過MEMS 組件的組閤設計具有特定功能的驅動器或傳感器。

目錄

第1章 引言
1.1 微機電係統
1.2 耦閤係統
1.3 所需知識
1.4 量綱分析
習題
第2章 微製造
2.1 體微加工和錶麵微加工
2.2 光刻
2.3 層沉積工藝
2.4 刻蝕法
2.5 製造工藝設計
習題
第3章 靜力學
3.1 靜力平衡
3.2 壓-張關係
3.3 熱應力
3.4 扭轉力矩作用下梁的性能
3.5 力矩-麯率之間的關係
3.6 梁方程
3.7 加勒金法
3.8 能量法
3.9 梁問題的能量方法
習題
第4章 微結構的靜力性能
4.1 微結構的元件
4.2 通用梁的剛度
4.3 杆係
4.4 剛度變換
4.5 平麵結構的靜力性能
4.6 殘餘應力
4.7 結構的立方力
4.8 勢能
4.9 勢能間的相似性
習題
第5章 動力學
5.1 三次方程
5.2 運動的描述
5.3 動態支配方程
5.4 勢能和動能之間的能量轉換
5.5 無阻尼自由振動係統
5.6 阻尼係統的振動
5.7 多自由度係統
5.8 連續係統
5.9 有效質量、阻尼和剛度
5.10 具有重復結構的係統
5.11 達芬方程
習題
第6章 流體動力學
6.1 黏性流
6.2 連續方程
6.3 納維-斯托剋斯方程
6.4 雷諾方程
6.5 庫埃特流動
6.6 流體中的振動闆
6.7 蠕動流
6.8 擠壓膜
習題
第7章 電磁學
7.1 電路的基本元件
7.2 基爾霍夫電流定律
7.3 靜電學
7.4 由電場産生的力和力矩
7.5 作用於各種物體的靜電力和力矩
7.6 電磁力
7.7 作用在電場和磁場中運動電荷上的力
7.8 壓阻
7.9 壓電性
習題
第8章 壓電和熱力驅動器
8.1 組閤梁
8.2 壓電驅動器
8.3 熱力驅動器
習題
第9章 靜電驅動器和電磁驅動器
9.1 電磁驅動器
9.2 梳驅動的驅動器
9.3 平行闆驅動器
9.4 扭轉驅動器
9.5 兩端固定梁驅動器
9.6 懸梁驅動器
9.7 間隙接近驅動器的動態響應
9.8 間隙接近驅動器的近似
9.9 電磁驅動器
習題
第10章 傳感器
10.1 力和壓力傳感器
10.2 加速度計
10.3 靜電加速度計
10.4 振動陀螺儀
10.5 其他結構
習題
附錄
參考文獻

前言/序言

微機電係統原理 下載 mobi epub pdf txt 電子書

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