基本信息

書名：透明氧化物半導體

定價：148.00元

作者：馬洪磊,馬瑾

齣版社：科學齣版社

齣版日期：2017-02-01

ISBN：9787030416643

字數：

頁碼：

版次：31

裝幀：圓脊精裝

開本：16開

商品重量：0.4kg

編輯推薦

《透明氧化物半導體》可作為大專院校凝聚態物理、微電子學與固體電子學、光電子學、電子材料與元器件、材料物理與化學等相關專業研究生的教材或參考書，也可供從事透明氧化物半導體教學、科研的教師、科學研究人員和工程技術人員參考。

內容提要

《透明氧化物半導體》重點闡述瞭已經得到廣泛應用或具有重要應用前景的8種氧化物半導體的製備技術、晶體結構、形貌、缺陷、電子結構、電學性質、磁學性質、壓電性質、光學性質和氣敏性質，既包含瞭作者近30年的研究成果，又反映瞭國內外透明氧化物半導體重要研究成果，既包含瞭早期透明氧化物半導體成熟理論，又反映瞭當前國際上透明氧化物半導體的*成果，重點突齣，內容係統、全麵、新穎，具有重要的科學意義和應用價值。

目錄

目錄 v
vi 透明氧化物半導體

目錄

前言

緒論1

第1章氧化物薄膜的製備技術5

1 1真空蒸發技術6

1 1 1金屬和化閤物蒸發6

1 1 2蒸發源的加熱裝置9

1 2MBE技術12

1 3濺射技術14

1 3 1雙極直流反應濺射15

1 3 2偏壓濺射16

1 3 3射頻濺射18

1 3 4磁控濺射19

1 3 5離子束濺射22

1 4離子鍍技術23

1 5CVD技術24

1 5 1APCVD和LPCVD技術25

1 5 2PECVD技術26

1 5 3MOCVD技術27

1 6溶液鍍膜技術30

1 6 1噴塗高溫分解30

1 6 2浸塗技術31

1 6 3化學溶解生長31

1 6 4sol gel技術32

1 7陽極氧化技術33

1 7 1陽極氧化技術33

1 7 2等離子體陽極氧化技術34

參考文獻36

第2章氧化物半導體基礎41

2 1金屬氧化物晶體結構41

2 1 1MO 型金屬氧化物的典型晶體結構41

2 1 2MO2型金屬氧化物晶體的典型晶體結構42

2 1 3M2O3型金屬氧化物的典型晶體結構43

2 2金屬氧化物的缺陷44

2 2 1金屬氧化物晶體缺陷類型44

2 2 2金屬氧化物晶體點缺陷理論基礎45

2 3金屬氧化物半導體的電學性質50

2 3 1金屬氧化物半導體的電子結構51

2 3 2金屬氧化物半導體的載流子濃度52

2 3 3金屬氧化物半導體載流子輸運散射機製54

2 4氧化物半導體的磁學性質57

2 4 1稀磁氧化物半導體的摻雜元素58

2 4 2氧化物半導體的鐵磁性起源60

2 5透明氧化物半導體的光學性質62

2 5 1透明氧化物半導體的光學常數62

2 5 2Burstein Moss移動67

2 5 3透明氧化物半導體薄膜的PL特性70

2 6金屬氧化物半導體的氣敏特性74

參考文獻76


目錄 vii
vi 透明氧化物半導體
第3章ZnO薄膜81

3 1ZnO薄膜的晶體結構82

3 1 1ZnO的晶體結構82

3 1 2ZnO薄膜的XRD譜84

3 1 3ZnO薄膜的Raman譜86

3 1 4ZnO薄膜的RHEED圖案88

3 1 5ZnO薄膜的HRTEM圖像90

3 2ZnO的電子結構90

3 3ZnO的本徵點缺陷92

3 4ZnO薄膜的電學性質94

3 4 1本徵ZnO的弱n型導電94

3 4 2ZnO的摻雜96

3 4 3ZnO薄膜載流子散射機製99

3 5ZnO薄膜的磁學性質和壓電性質100

3 5 1ZnO基稀磁半導體100

3 5 2ZnO薄膜的壓電性質 102

3 6ZnO薄膜的光學性質103

3 6 1ZnO薄膜的光透射譜103

3 6 2ZnO薄膜的PL特性105

3 6 3ZnO薄膜的激子受激發射特性108

參考文獻109

第4章SnO2薄膜114

4 1SnO2薄膜的晶體結構115

4 1 1SnO2的晶體結構115

4 1 2SnO2薄膜的XRD譜116

4 1 3SnO2薄膜的Raman譜120

4 1 4SnO2薄膜的TEM和HRTEM圖像123

4 1 5SnO2薄膜的XPS譜125

4 1 6SnO2薄膜的RBS譜127

4 2金紅石SnO2的電子結構127

4 3SnO2薄膜的電學性質129

4 3 1金紅石SnO2的本徵缺陷129

4 3 2金紅石SnO2薄膜的摻雜131

4 3 3金紅石SnO2薄膜載流子散射機製133

4 3 4鈮鐵礦SnO2薄膜的電學性質135

4 4SnO2薄膜的磁學性質136

4 5SnO2薄膜的光學特性137

4 5 1SnO2薄膜的光透射譜138

4 5 2SnO2薄膜的PL特性141

4 6金紅石SnO2薄膜的氣敏特性144

參考文獻145

第5章TiO2薄膜151

5 1TiO2薄膜的晶體結構152

5 1 1TiO2的晶體結構152

5.1.2TiO2薄膜的XRD譜153

5 1 3TiO2薄膜的Raman譜157

5 1 4TiO2薄膜的XPS譜159

5 1 5TiO2的RBS譜159

5 2TiO2的電子結構161

5 3TiO2的本徵點缺陷164

5 4TiO2薄膜的電學性質168

5 5TiO2薄膜的磁學性質173

5 6TiO2薄膜的光學性質175

5 6 1TiO2薄膜的光透射譜175

5 6 2TiO2薄膜的PL特性177

5 6 3TiO2薄膜的光學常數179

5 7TiO2薄膜的光催化特性181

參考文獻183

目錄 ix
viii 透明氧化物半導體
第6章In2O3薄膜190

6 1In2O3薄膜的晶體結構190

6 1 1In2O3薄膜的晶體結構190

6 1 2In2O3薄膜的XRD譜192

6 1 3In2O3薄膜的Raman譜195

6 1 4In2O3薄膜的HRTEM圖像197

6 1 5In2O3薄膜的XPS譜200

6 1 6In2O3薄膜的RBS譜201

6 2In2O3的電子結構203

6 3In2O3薄膜的電學性質205

6 3 1In2O3的本徵點缺陷205

6 3 2In2O3薄膜的電導特性207

6 3 3In2O3薄膜載流子散射機製211

6 4In2O3薄膜的磁學性質212

6 5In2O3薄膜的光學性質213

6 5 1In2O3薄膜的光透射譜214

6 5 2In2O3薄膜的PL特性216

6 5 3In2O3薄膜的光學常數217

6 6In2O3薄膜的氣敏特性220

參考文獻222

第7章Ga2O3薄膜227

7 1Ga2O3薄膜的晶體結構228

7 1 1Ga2O3的晶體結構228

7 1 2Ga2O3薄膜的XRD譜229

7 1 3β Ga2O3的薄膜HRTEM圖像232

7 1 4β Ga2O3薄膜的Raman譜235

7 1 5β Ga2O3的XPS譜237

7 1 6Ga2O3薄膜的RBS譜238

7 2Ga2O3的電子結構239

7 3Ga2O3薄膜的電學性質242

7 3 1Ga2O3的點缺陷242

7 3 2Ga2O3薄膜的電學性質244

7 4Ga2O3薄膜的光學性質246

7 4 1Ga2O3薄膜的光透射譜246

7 4 2Ga2O3薄膜的PL特性249

7 4 3Ga2O3的薄膜CL特性252

7 4 4Ga2O3薄膜的光學常數254

7 5β Ga2O3薄膜的氣敏特性256

參考文獻258


第8章MgZnO薄膜263

8 1MgZnO薄膜的晶體結構264

8 1 1MgZnO薄膜的晶體結構264

8 1 2MgZnO薄膜的XRD譜265

8 1 3MgZnO薄膜的Raman譜269

8 1 4MgZnO薄膜的AFM圖像270

8 1 5MgZnO薄膜的TEM和HRTEM圖像271

8 1 6MgZnO的XPS譜273

8 1 7MgZnO薄膜的RBS譜275

8 2MgZnO的電子結構276

8 3MgZnO薄膜的電學和磁學性質280

8 3 1MgZnO薄膜的電學性質280

8 3 2MgZnO薄膜的磁學性質282

8 4MgZnO的光學性質283

8 4 1MgZnO薄膜的光透射譜283

8 4 2MgZnO薄膜的PL特性286

8 4 3MgZnO薄膜的長波光學聲子性質290

8 4 4MgZnO薄膜的光學常數292

參考文獻296

第9章GaInO和InGaZnO薄膜299

9 1引言299

9 2GaInO薄膜299

9 2 1GaInO薄膜的晶體結構300

9 2 2GaInO薄膜的電學性質307

9 2 3GaInO薄膜的光學性質309

9 3InGaZnO薄膜311

9 3 1InGaZnO薄膜的晶體結構312

9 3 2InGaZnO薄膜的電學性質315

9 3 3InGaZnO薄膜的光學性質325

參考文獻326



目錄 ix
x 透明氧化物半導體

第10章透明氧化物電子學330

10 1引言330

10 2透明氧化物薄場效應膜晶體管332

10 2 1c IGZO TFT333

10 2 2a IGZO TFT335

10 2 3ZnO TFT344

10 3紫外發光二極管和激光二極管349

10 3 1UV LED350

10 3 2UV LD356

10 4透明UV探測器359

參考文獻363

索引368

《半導體科學與技術叢書》已齣版書目376

彩圖377

作者介紹

文摘

序言