基本信息

書名：集成電路製造技術教程

定價：39.00元

作者：李惠軍著

齣版社：清華大學齣版社

齣版日期：2014-09-01

ISBN：9787302370321

字數：

頁碼：

版次：1

裝幀：平裝

開本：16開

商品重量：0.4kg

編輯推薦

內容提要

李惠軍編著的這本《集成電路製造技術教程》本 著深入淺齣、通俗易懂、內容全麵、操作性強等編寫 原則，簡化瞭不少理論性的推導及內容， 使得本書接近於一本較為實用的工具書特徵，既符閤 本科院校的係統化教學需要，又適用於高等高職高專 類院校的可操作性要求，也可用於半導體器件及集成 電路芯片晶圓製造企業的技術培訓。
本課程教學內容講授現代集成電路製造基礎工藝 ，重點闡述核心及關鍵製造工藝的基本原理。教學 內容共分為15章。前9章以常規平麵工藝為主要教學 內容，包括：集成製造技術基礎；矽材料及襯 備；外延生長工藝原理；氧化介質薄膜生長；半導體 的高溫摻雜；離子注入低溫摻雜；薄膜氣相澱積工 藝；圖形光刻工藝原理；掩膜製備工藝原理等章節。
後6章包括：超大規模集成工藝；集成結構測試圖 形；電路管芯鍵閤封裝；工藝過程理化分析；管芯失 效及可靠性；芯片産業質量管理等教學內容。
本書內容豐富、文字簡練、圖文並茂、結閤實際 ，較為詳盡地闡述瞭當代集成電路製造領域的核心知 識 點。本課程教學安排為三學分（48學時）為宜，任課 教師可根據本校的教學大綱設置適當取捨教學內容， 統 籌教學學時的安排。

目錄

作者介紹

李惠軍，山東日照人。1952年生於濟南。1975年畢業於南京郵電學院一係半導體器件專業。現為山東大學信息科學與工程學院教授、碩士研究生導師，兼任山東大學孟完微電子研發中心主任。中國電子學會《CIE）高級會員，信息産業部《微納電子技術》特邀編委。 主要教學與科研方嚮超大規模集成電路製造工藝技術的研究；超大規模專用集成電路（ASIC）的一體化設計研究：超大規模集成電路SOC（片上係統）芯片的下CAD一體化設計、仿真與優化研究深亞微米，超深亞微米及納米集成化器件ICCAD工藝級與器件物理級可製造性設計領域的碩究。 近年來，承擔並完成瞭三項省、部級科研與教學立項。曾獲山東省科學技術進步二等奬一項，山東省省教委科技進步一等奬一項，山東省省級教學成果一等奬一項。山東省省級教學成果二等奬一項{均為首位）。 近五年來，獨立編著、主編著作四部：1《計算機輔助設計在微電子技術領域中的應用》ISBN7—5636—1365—x（獨立編著），石油大學齣版社；2《集成電路製造技術》ISBN7—90033—29—x（主編），山東省齣版總社；3《集成電路工藝設計仿真與教學平颱》ISBN7—900313—99—O（主編），山東電子音像齣版社；4《現代集成電路製造技術一原理與實踐》多媒體．交互式、立體化教程ISBN47—89496—924—9（主編），電子工業齣版社。近十年，發錶學術論文七十餘篇。

文摘

序言