基本信息

书名:微机电技术

定价：50.00元

售价：34.0元,便宜16.0元,折扣68

作者:田文超,娄利飞著

出版社：西安电子科技大学出版社

出版日期：2014-08-01

ISBN：9787560633350

字数：

页码：

版次：1

装帧：平装

开本：16开

商品重量：0.4kg

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内容提要

田文超、娄利飞编著的《微机电技术》系统地介 绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要应用，包 括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用， RF MEMS及重构天线，MEMS力学问题等。书中包含大 量图、表，研究成果及相关结论，内容丰富。
本书可供高年级本科生和研究生使用，也可以作 相关工程技术人员及科技管理人员的参考书。

目录

作者介绍

文摘

序言