基本信息

書名:微機電技術

定價：50.00元

售價：34.0元,便宜16.0元,摺扣68

作者:田文超,婁利飛著

齣版社：西安電子科技大學齣版社

齣版日期：2014-08-01

ISBN：9787560633350

字數：

頁碼：

版次：1

裝幀：平裝

開本：16開

商品重量：0.4kg

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內容提要

田文超、婁利飛編著的《微機電技術》係統地介 紹瞭微機電技術基本內容、分析方法和主要應用，包 括微機電係統概述、材料、工藝、典型器件、應用， RF MEMS及重構天綫，MEMS力學問題等。書中包含大 量圖、錶，研究成果及相關結論，內容豐富。
本書可供高年級本科生和研究生使用，也可以作 相關工程技術人員及科技管理人員的參考書。

目錄

作者介紹

文摘

序言