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內容簡介

　　《納米科學與技術：微納加工及在納米材料與器件研究中的應用》共分十二章，第1-8章分類介紹瞭幾種主要的微納加工技術，包括：光學曝光、電子束曝光技術、聚焦離子束加工技術、激光加工技術、納米壓印技術、離子束技術、薄膜技術和自組裝加工，即簡要概述瞭各種加工方法的科學基礎，又從實用齣發，介紹瞭各種技術的主要工藝過程，特彆涉及各種技術根據需要全新發展的一些創新方法；第9－12章按幾個不同的領域，介紹瞭微納加工技術在納米材料與器件研究中的一些應用實例，包括電學、光學、磁學、生物等其它領域。這些成果深刻影響瞭當前納米科學與技術的發展，希望能對從事相關領域研究的讀者有所啓發和藉鑒。

作者簡介

　　顧長誌，1964年6月生於瀋陽。1997年於吉林大學獲得凝聚態物理專業博士學位。1997—1999年在德國夫琅禾費薄膜與錶麵工程研究所從事博士後研究，2000年在德國柏林自由大學物理係做高訪學者，2004年在日本物質材料國傢研究所從事閤作研究。1998年被聘為吉林大學教授，2001年至今任中國科學院物理研究所研究員、博士生導師，並任技術部主任、微加工實驗室主任。2000年獲教育部”跨世紀人纔”稱號，2001年入選中國科學院“百人計劃”，2007年獲中國物理學會“鬍剛復物理奬”，2008年獲得“國傢傑齣青年基金”。曾主持和承擔國傢重大和重點項目6項。
　　長期從事納米材料與納米結構的可控製備、新奇物性和器件應用方麵的研究，獲得瞭一係列研究成果。在Nature子刊、Phys. Rev. Lett.，，Am.Chem，Soc.，Nano　Lett.，Adv. Mater.等學術刊物上發錶論文200餘篇，獲發明專利授權20餘項，完成國傢鑒定（驗收）項目5項。

內頁插圖

目錄

《納米科學與技術》叢書序
前言
第1章 光學曝光
1.1 光學曝光係統的基本組成
1.2 光學曝光的基本原理與特徵
1.2.1 光學曝光的基本模式與原理
1.2.2 光學曝光的過程
1.2.3 分辨率增強技術
1.3 短波長光學曝光技術
1.3.1 深紫外與真空紫外曝光技術
1.3.2 極紫外曝光技術
1.3.3 X射綫曝光技術
1.3.4 LIGA加工技術
1.4 光學曝光加工納米結構
1.4.1 泊鬆亮斑納米曝光技術
1.4.2 錶麵等離激元納米曝光技術
1.4.3 基於雙層圖形技術的納米加工
1.5 光學曝光加工三維微納結構
1.5.1 灰度曝光技術
1.5.2 基於欠曝光的三維曝光技術
1.5.3 基於菲涅耳衍射與鄰近效應的三維曝光技術
參考文獻

第2章 電子束曝光技術
2.1 電子束曝光係統組成
2.1.1 電子槍
2.1.2 透鏡係統
2.1.3 電子束偏轉係統
2.2 電子束曝光係統的分類
2.2.1 掃描模式
2.2.2 束形成
2.3 電子束抗蝕劑
2.3.1 電子束抗蝕劑的性能指標
2.3.2 電子束抗蝕劑製作圖形工藝
2.3.3 常用電子束抗蝕劑及其工藝過程
2.3.4 特殊的顯影工藝
2.3.5 多層抗蝕劑工藝
2.3.6 理想抗蝕劑剖麵的加工
2.4 電子束與固體的相互作用及鄰近效應
2.4.1 電子束與固體的相互作用
2.4.2 鄰近效應及校正
2.5 充電效應及解決方法
2.5.1 引入導電膜
2.5.2 變壓電子束曝光係統
2.5.3 臨界能量電子束曝光
2.6 三維結構的製備
2.6.1 平整襯底上三維結構的加工
2.6.2 三維襯底上圖形的製備
2.7 電子束曝光分辨率
2.8 新型的電子束曝光技術
2.8.1 投影電子束曝光
2.8.2 微光柱陣列電子束曝光
2.8.3 反射電子束曝光
參考文獻

第3章 聚焦離子束加工技術
3.1 聚焦離子束係統的基本組成
3.2 聚焦離子束的基本功能與原理
3.2.1 離子束成像
3.2.2 離子束刻蝕
3.2.3 離子束輔助沉積
3.2.4 FIB的傳統應用
3.3 聚焦離子束的三維納米加工
3.3.1 FIB刻蝕加工三維結構
3.3.2 FIB沉積加工三維結構
3.3.3 FIB輻照加工直維結構
參考文獻

第4章 激光加工技術
第5章 納米壓印技術
第6章 刻蝕技術
第7章 薄膜技術
第8章 自組裝加工
第9章 微納加工在電學領域的應用
第10章 微納加工在光學領域的應用
第11章 微納加工在磁學領域的應用
第12章 微納加工在其他領域的應用

前言/序言

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