自21世紀初,集成電路製造開始在中國大陸蓬勃發展。到如今,已經建成十幾條8英寸綫和多條12英寸的先進生産綫。國傢持續推齣優惠政策,大力扶持集成電路産業。尤其是近期,國務院在2014年6月發布瞭《國傢集成電路産業發展推進綱要》,開始全方位地推動集成電路産業的全麵發展。2015年3月李剋強總理在《政府工作報告》中又明確地指定集成電路産業作為未來大力發展的方嚮之一,並對産業的創新予以支持和鼓勵。2015年5月,國務院又正式發布瞭《中國製造2025》的規劃,吹響瞭智能工廠、智能製造的衝鋒號。
吾輩何其幸甚,身處在這風起雲湧的浪潮之巔。自當全力以赴,為中國半導體産業的發展竭智盡力。
筆者們在集成電路製造業從事質量與可靠性工作數十載,見證瞭中國集成電路製造業的迅猛發展。期間也有幸與很多國內外業界的先驅和專傢,同堂議事、共襄盛舉。甚幸!甚幸!
除瞭日常事務,筆者們仍時刻關注業界在質量與可靠性方麵的最新發展以及動態,以拓展視野、持續學習,通過不斷的思考、不同領域的融閤與工程實踐,將工作中的各種疑難雜癥,轉化為現實的突破與創新。十多年來,領導團隊提交專利500多份,發錶專業論文300餘篇,成功驗證數百個不同工藝。所以,著重於介紹“創新”是本書的第一個亮點。
這些實用的創新,雖然有相應文獻可供查詢,但是分布零散、缺乏係統性架構,無法很好地顯現它們的參考價值。筆者們依多年纍積的經驗,將這些創新分成質量、可靠性與失效分析三大部分(領域),通過豐富的實用案例,巧妙地融閤瞭這三大領域。這也是本書不同於現今市麵上專業書籍的第二個亮點:“融閤”。融閤三大領域,融閤工程與統計,融閤理論與實際,更是融閤創新與實踐。筆者在本書中所做的係統性整理,也是多年工作的感悟,更是希望能拋磚引玉,激起業界的共鳴,為中國集成電路事業盡一份綿薄之力。
為更符閤不同背景從業人員的需求,本書避免艱深理論的推導和公式的計算。有興趣的讀者們,可以參考書後提供的詳盡文獻,獲得所需資訊。本書在這個曆史轉摺點推齣,是希望大傢在關注集成電路製造技術發展的同時,韆萬不要忘記質量與可靠性對集成電路産業甚至對整個中國産業的重要性。畢竟,目前中國製造在質量與可靠性方麵仍然有很大的改善空間。大多數人,仍然隻是把質量與可靠性掛在嘴邊,而沒能理解它們的精髓與必要性。所以,為瞭提升“中國製造”,我們希望通過本書深入淺齣的介紹,傳播並強調質量與可靠性的重要。這是本書的第三個亮點:“淺顯易懂”。
盡管我們大部分的創新是集中在集成電路産業,尤其是集成電路製造領域,但這些質量與可靠性管理的方法和創新,是可以運用在其他領域的。比如,早期偵測的理念,在汽車製造、航天製造等高科技産業都是非常值得推廣的。所以本書的第四個亮點是“通用”。
經過近兩年時間,無數多個夜晚和周末的奮戰,本書終於定稿。第1章是概述;第2章主要介紹質量管理與工程及其創新;第3章主要介紹可靠性管理與工程及其創新;第4章則主要是介紹失效分析。本書能夠付梓齣版,也離不開一些同事和朋友的大力幫忙。如李明博士在失效分析,何文文女士在質量管理,趙永先生在可靠性,康盛先生在數理統計,鄧貴紅女士在工藝質量控製,以及上官遨宇女士在進料檢驗方麵提供的大量的技術資料。並且他們也都參與瞭本書的編輯和整理工作,在此錶示感謝。
對於本書的不足之處,還望各位讀者、專傢、先進、同業們不吝指正。
張啓華
一本關於半導體製造的書,讓我對這個行業的復雜性和精密性有瞭全新的認識。 這本書的扉頁上赫然印著“半導體製造中的質量可靠性與創新”幾個大字,這幾個字也精準地概括瞭我在這本書中窺探到的精彩世界。我一直覺得半導體産業離我們很遙遠,但這本書卻如同拉近瞭距離的望遠鏡,讓我看到瞭那些隱藏在微小芯片背後的巨大工程。從最初的晶圓製造,到復雜的蝕刻、沉積、光刻等工藝,再到最終的封裝和測試,作者用條理清晰的語言,輔以詳實的圖錶和案例,將每一個環節都描繪得栩栩如生。我尤其被書中對“質量可靠性”的強調所打動。原來,一塊小小的芯片,其背後的質量控製體係是如此嚴謹而龐大,任何一個微小的缺陷都可能導緻整個産品的失敗。書中所述的各種檢測手段,如失效分析、應力測試、環境模擬等,都讓我驚嘆於人類在追求極緻可靠性方麵的智慧和毅力。而“創新”這個詞,更是貫穿全書的亮點。從新材料的應用,到新工藝的開發,再到智能製造和人工智能的融入,我看到瞭這個行業永不停歇的進步步伐。作者並沒有停留在理論層麵,而是通過大量的實例,展示瞭這些創新是如何在實際生産中落地生根,並最終推動著科技的革新,影響著我們的日常生活。閱讀的過程,就像是在經曆一場科技的洗禮,讓我對信息時代的基石有瞭更深刻的理解和敬畏。
評分這本關於半導體製造的著作,簡直是一本厚重的技術史詩,讓我不禁感嘆人類智慧的結晶。 翻開這本書,我立刻被其宏大的敘事所吸引。它不僅僅是關於製造工藝的流水綫介紹,更像是一部關於人類如何徵服微觀世界的史詩。從早期鍺管的萌芽,到矽基芯片的崛起,再到如今多層堆疊、三維結構的精進,作者以史詩般的筆觸,勾勒齣瞭半導體技術發展的波瀾壯闊的畫捲。書中對“質量可靠性”的探討,更是上升到瞭哲學的高度。它不再僅僅是簡單的良品率問題,而是關乎到整個社會的運行,關乎到國傢安全和經濟命脈。作者深入淺齣地分析瞭導緻芯片失效的各種復雜因素,從材料的微觀結構到環境的宏觀影響,再到人為操作的細微偏差,每一個環節都可能成為“蝴蝶效應”的起點。而“創新”則是貫穿始終的主鏇律,它如同點燃星辰的火種,驅動著整個行業不斷突破邊界。書中對前沿技術的描繪,如納米級彆的加工精度、量子效應的利用、柔性電子的發展等,都讓我對未來科技充滿瞭無限的遐想。我能感受到作者在字裏行間流露齣的對科學的嚴謹態度和對創新的無限熱情。這本書讓我看到瞭半導體製造背後那股強大的驅動力,那是一種對未知世界的不懈探索,以及對人類福祉的深切關懷。
評分這是一本關於半導體製造的深度解讀,它讓我看到瞭科技進步的內在邏輯。 在閱讀這本《半導體製造中的質量可靠性與創新》時,我仿佛置身於一個巨大的實驗室,親眼見證著科技的誕生與發展。作者用一種極其嚴謹而又富有洞察力的視角,剖析瞭半導體製造的核心環節。我被書中關於“質量可靠性”的細緻講解所摺服,它不僅僅是遵循標準,更是一種對産品生命周期的全方位考量。從早期設計階段的失效模式分析,到生産過程中的過程控製和終檢,再到産品在極端環境下的錶現評估,每一個步驟都關乎著最終的成敗。作者詳細闡述瞭各種質量控製工具和方法,如SPC、DOE、FMEA等,並結閤實際案例,展示瞭它們在保障芯片穩定運行中的關鍵作用。而“創新”部分,則讓我看到瞭半導體行業永不止步的動力源泉。書中對新材料、新工藝、新設備的介紹,都充滿瞭前瞻性。例如,對下一代存儲技術的探索,對異構集成的解決方案,以及對人工智能在設計和製造中的應用,都讓我看到瞭行業未來的發展方嚮。這本書讓我明白,科技的進步並非偶然,而是無數工程師、科學傢辛勤耕耘、不斷突破的結果。它讓我對半導體産業的復雜性、精密性以及其在現代社會中的重要地位有瞭更深刻的認識。
評分這本有關半導體製造的著作,如同一本厚重的百科全書,讓我對這個神秘領域有瞭全方位的認知。 剛拿到這本書,我被其厚實的篇幅和密集的專業術語所震撼,但隨著閱讀的深入,我發現它並非一本令人望而卻步的學術著作,而是一部充滿智慧的探索之旅。作者以其深厚的專業功底和清晰的邏輯思維,將“半導體製造中的質量可靠性與創新”這些復雜的主題,分解成一個個易於理解的組成部分。我尤其被書中關於“質量可靠性”的係統性論述所吸引。它讓我明白,一塊小小的芯片,其背後是無數道嚴苛的質量關卡。從原材料的純度控製,到光刻機納米級的精度操作,再到封裝過程中的防潮防靜電,每一個環節都充滿瞭對細節的極緻追求。作者通過生動的圖示和詳實的案例,展示瞭各種失效機製的産生和預防,讓我對芯片的穩定性和耐用性有瞭全新的認識。而“創新”的部分,則更是讓人興奮不已。書中對當前熱門技術的探討,如3D NAND、FinFET、Chiplet技術等,都充滿瞭前沿性和啓發性。作者還展望瞭未來可能齣現的顛覆性技術,如量子計算在半導體製造中的應用,以及生物半導體的發展前景,都讓我對科技的未來充滿瞭期待。這本書讓我看到瞭半導體製造的廣度和深度,它不僅僅是冰冷的機器和復雜的流程,更蘊含著人類對科學的探索精神和對未來科技的無限憧憬。
評分一本讓我腦洞大開的半導體製造書籍,它徹底顛覆瞭我對“製造”的認知。 初讀這本書,我以為它會是一本枯燥的技術手冊,充斥著我難以理解的專業術語。然而,事實恰恰相反,作者以一種充滿啓發性的方式,將“半導體製造中的質量可靠性與創新”這些看似高冷的議題,變得生動有趣,引人入勝。我尤其被書中關於“質量可靠性”的闡述所吸引,它讓我明白,原來我們使用的電子産品,背後凝聚著多少不為人知的努力。從材料的選擇、提純,到晶圓的生長、拋光,再到光刻機如同“神筆馬良”般的精準投射,以及後續一係列的化學、物理處理,每一步都充滿瞭智慧的挑戰。作者用通俗易懂的比喻,將復雜的工藝流程解釋得清晰明瞭,讓我這個門外漢也能窺探到其精妙之處。而“創新”部分,更是讓我眼界大開。書中描述的那些超越想象的製造技術,如原子層沉積、EUV光刻、納米壓印等等,都讓我驚嘆於人類在微觀尺度上進行精細操控的能力。它不再是簡單的“組裝”,而是“創造”,是對物質本質的深刻理解和巧妙運用。這本書讓我意識到,半導體製造不僅僅是工業生産,更是一門藝術,一種科學,一種對極緻的追求。它讓我對那些默默付齣、創造齣我們生活必需品的工程師們充滿瞭敬意。
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