编辑推荐

同时从电子与机械两个层面介绍MEMS的相关技术。

更大篇幅地介绍了微加工技术以及组装与封装技术。

介绍了微陀螺、微型麦克风与热管的原理。

内容简介

作者在本书中首先对纳米技术的发展历史做了一个简要的回顾，然后对各种纳米结构在工程设计方面的基本原理做了详细的介绍，包括形成纳米结构的制造技术、基于分子动力学的工程设计原理以及纳尺度材料中的流体流动与热传导特性等。

作者简介

许军，男，研究员，清华大学微电子学研究所所长。1963年6月生于安徽合肥，1986年毕业于清华大学无线电电子学系半导体器件与物理专业，获工学学士学位，后分别于1989年和1994年在航天工业部771研究所计算机器件与设备专业获工学硕士学位和工学博士学位，1994年至1996年在清华大学微电子学研究所电子学与通信博士后科研流动站从事超大规模集成电路工艺技术的基础研究工作，1997年在清华大学微电子学研究所晋升为副研究员，1997至1999年在美国新奥尔良大学先进材料研究所固体器件研究组做访问学者，1999年回国后继续在清华大学微电子学研究所集成电路开发与工业性试验线工作，2002年晋升为研究员。

徐泰然（Tai-Ran Hsu）教授主要从事微机电系统的设计、制造和封装技术的教学与科研工作，在MEMS系统和纳米系统的热力学及有限元和CAD技术方面的研究取得了具有国际影响的学术成绩，先后出版了《MEMS 封装技术》、《MEMS与微系统的设计和制造》5本专著，编著2本著作。在“Advances in Electronic Packaging”、“Semiconductor International”和“Sensors and Actuators”等学术刊物上发表了学术论文120多篇，并多次被邀请在微纳米技术和微机电技术国际会议上作大会报告，在国际微纳米技术领域享有很高的学术声誉。特别是在MEMS技术的教育方面做出了很大的贡献。

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