編輯推薦

同時從電子與機械兩個層麵介紹MEMS的相關技術。

更大篇幅地介紹瞭微加工技術以及組裝與封裝技術。

介紹瞭微陀螺、微型麥剋風與熱管的原理。

內容簡介

作者在本書中首先對納米技術的發展曆史做瞭一個簡要的迴顧，然後對各種納米結構在工程設計方麵的基本原理做瞭詳細的介紹，包括形成納米結構的製造技術、基於分子動力學的工程設計原理以及納尺度材料中的流體流動與熱傳導特性等。

作者簡介

許軍，男，研究員，清華大學微電子學研究所所長。1963年6月生於安徽閤肥，1986年畢業於清華大學無綫電電子學係半導體器件與物理專業，獲工學學士學位，後分彆於1989年和1994年在航天工業部771研究所計算機器件與設備專業獲工學碩士學位和工學博士學位，1994年至1996年在清華大學微電子學研究所電子學與通信博士後科研流動站從事超大規模集成電路工藝技術的基礎研究工作，1997年在清華大學微電子學研究所晉升為副研究員，1997至1999年在美國新奧爾良大學先進材料研究所固體器件研究組做訪問學者，1999年迴國後繼續在清華大學微電子學研究所集成電路開發與工業性試驗綫工作，2002年晉升為研究員。

徐泰然（Tai-Ran Hsu）教授主要從事微機電係統的設計、製造和封裝技術的教學與科研工作，在MEMS係統和納米係統的熱力學及有限元和CAD技術方麵的研究取得瞭具有國際影響的學術成績，先後齣版瞭《MEMS 封裝技術》、《MEMS與微係統的設計和製造》5本專著，編著2本著作。在“Advances in Electronic Packaging”、“Semiconductor International”和“Sensors and Actuators”等學術刊物上發錶瞭學術論文120多篇，並多次被邀請在微納米技術和微機電技術國際會議上作大會報告，在國際微納米技術領域享有很高的學術聲譽。特彆是在MEMS技術的教育方麵做齣瞭很大的貢獻。

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