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現代PVD錶麵工程技術及應用

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張而耕,吳雁 著



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發表於2024-12-14


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齣版社: 科學齣版社
ISBN:9787030377142
版次:1
商品編碼:12055785
包裝:平裝
開本:16開
齣版時間:2013-06-01
用紙:膠版紙
頁數:173
字數:232000
正文語種:中文

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具體描述

內容簡介

  《現代PVD錶麵工程技術及應用》係統全麵地闡述瞭PVD(物理氣相沉積)塗層的發展曆史、技術原理、工藝流程及工程應用。全書共7章,內容包括:PVD塗層的研究進展、PVD技術原理、PVD塗層技術工藝、PVD塗層的結構與性能、PVD塗層的化學成分控製、PVD塗層的質量控製,以及PVD塗層在現代工業上的應用。
  《現代PVD錶麵工程技術及應用》敘述深入淺齣,內容豐富而精煉,工程實踐性強,在強化理論的同時,重點突齣瞭工程應用。
  《現代PVD錶麵工程技術及應用》作為國內為數不多的介紹現代PVD技術原理與工程應用方麵的著作,可用作高等工科院校機械工程類、工程材料類、錶麵工程類及相關製造類專業的本科生和研究生教材,也是工程技術人員和相關學科的科研工作者及大中專學生、研究生的重要參考資料,特彆是對於從事實際生産工作的工程技術人員具有重要的指導作用。

內頁插圖

目錄


前言
第1章 PVD塗層的研究進展
1.1 PVD塗層技術概述
1.1.1 真空塗層技術的發展
1.1.2 PVD塗層的基本概念及其特點
1.1.3 現代塗層設備
1.2 PVD塗層技術的研究概述
1.2.1 硬質閤金塗層的特點
1.2.2 硬質閤金的塗層方法
1.2.3 高溫化學氣相沉積塗層
1.2.4 物理氣相沉積塗層
1.2.5 等離子化學氣相沉積塗層
1.2.6 中溫化學氣相沉積塗層
1.2.7 離子輔助物理氣相沉積塗層
1.2.8 塗層硬質閤金的種類

第2章 PVD技術原理
2.1 PVD涉及的真空基礎與概論
2.1.1 真空概念
2.1.2 真空區域的劃分
2.1.3 與PVD相關的低溫等離子體概述
2.1.4 真空獲得與抽氣概念
2.1.5 PVD與水電鍍的比較
2.2 蒸鍍技術
2.2.1 真空蒸發的原理
2.2.2 真空蒸發的優缺點
2.2.3 真空蒸發鍍膜過程
2.2.4 飽和蒸汽壓相關理論
2.2.5 蒸發所需熱量和蒸發離子的能量
2.2.6 蒸鍍的分類
2.3 磁控濺射技術
2.3.1 濺射鍍膜原理
2.3.2 直流濺射
2.3.3 直流磁控濺射
2.3.4 射頻濺射
2.3.5 脈衝濺射
2.4 陰極電弧技術
2.4.1 真空陰極弧的發展曆程
2.4.2 脈衝偏壓陰極弧鍍膜
2.4.3 陰極電弧製備薄膜的應用
2.4.4 陰極電弧等離子體沉積技術的優點及特性
2.4.5 陰極電弧等離子體沉積技術
2.5 不同塗層技術之間的比較

第3章 PVD塗層技術工藝
3.1 PVD塗層的前處理工藝
3.1.1 清洗
3.1.2 去毛刺
3.1.3 噴砂
3.1.4 拋光
3.2 PVD塗層的製造工藝
3.3 PVD塗層的後處理工藝
3.4 PVD塗層的退塗層工藝

第4章 PVD塗層的結構與性能
4.1 氣相沉積技術概述
4.1.1 氣相沉積技術及其分類
4.1.2 PVD和CVD的技術特性比較
4.1.3 PVD塗層的發展趨勢
4.2 PVD塗層的組織結構
4.2.1 塗層的組織形貌
4.2.2 塗層的晶體結構
4.3 PVD塗層的物理性能
4.3.1 塗層的硬度
4.3.2 塗層的結閤力
4.3.3 塗層的內應力
4.3.4 塗層的抗彎強度
4.3.5 塗層的斷裂韌性
4.3.6 塗層的摩擦磨損性能
……

第5章 PVD塗層的化學成分控製
第6章 PVD塗層的質量控製
第7章 PVD塗層在現代工業上的應用
參考文獻

前言/序言

  PVD(物理氣相沉積)技術齣現於20世紀70年代末,該技術製備的薄膜具有硬度高、摩擦係數低、耐磨性和化學穩定性好等優點。其最初在高速鋼刀具領域的成功應用引起瞭世界各國製造業的高度重視,人們在開發高性能、高可靠性塗層設備的同時,也在硬質閤金、陶瓷類刀具中進行瞭更加深入的塗層應用研究。與CVD(化學氣相沉積)工藝相比,PVD工藝處理溫度低,在600℃以下時對刀具材料的抗彎強度無影響;薄膜內部應力狀態為壓應力,更適於對硬質閤金精密復雜刀具的塗層處理;PVD工藝對環境無不利影響,符閤現代綠色製造的發展方嚮,是典型的無汙染、零排放技術。隨著現代工業發展與環境保護之間的矛盾越來越突齣,人們對産品的質量和服役壽命提齣瞭更高的要求,PVD錶麵工程技術正是在這一背景下應運而生的。它具有傳統錶麵處理(如電鍍、化學鍍、熱浸鍍、熱噴塗等)無可比擬的優點——超硬、超薄、自潤滑、耐高溫、無汙染等,這些特點決定瞭PVD技術是現在和未來錶麵加工處理的主要技術之一。
  PVD錶麵工程處理技術不僅可用於刀具、模具和摩擦磨損件錶麵的加硬、潤滑和耐磨處理,未來還可用於汽車零部件、機械零件及航空航天等零件的錶麵處理,並且對零部件的錶麵耐磨損、抗腐蝕、自潤滑産生無可替代的作用,是減少汽車汙染、降低能耗的主要環保技術。
  國外對這一技術的應用已經比較多,而國內相比於國外,在這一技術方麵的差距至少為10年。同時迄今還沒有一本係統介紹這一技術的著作,也沒有相關的參考標準,很多塗層製造和檢測標準都來自歐洲。由於作者從事該行業多年,參與瞭多項有關PVD錶麵工程技術的應用和研發工作,所以對這一技術的價值及應用前景具有深刻的理解,並由此産生瞭編著本書的想法。希望本書對指導工程技術人員開發和應用PVD技術、並對拓展大中專學生及研究生對先進製造技術的理解和運用能夠發揮一定的作用。
  全書共7章。第1章總體介紹PVD技術的現狀、發展及研究情況;第2章主要介紹PVD技術的原理、各類PVD技術的組成、分類及其應用領域;第3章主要介紹PVD技術的r丁藝過程,包括前處理、塗層及後處理工序,也闡述瞭製備品質優良的錶麵塗層的方法;第4章主要從微觀領域介紹PVD塗層作為一種新材料的結構特點、組成及影響其性能的因素;第5章介紹生産過程中如何製備性能各異和不同應用範圍的塗層;第6章介紹PVD塗層的各種檢測手段,確保生産齣閤格塗層産品;第7章介紹PVD塗層的工程應用,闡述這一技術的應用價值,其中很多案例來自作者的親身經曆。
  本書力求反映當前新材料和製造領域的先進技術、先進理念及其應用,在編寫上具有如下特點。
  (1)理論與應用實踐緊密結閤。本書注重闡述PVD先進技術理念,結閤科學理論與工程實踐,提供大量的案例以及實物圖片,使讀者易於理解和領會。
  (2)生産實際和工程技術相結閤。本書所闡述的內容基本上都是在生産實踐的基礎上進行概括和濃縮的結果,並把抽象的科學理論與工程技術相結閤,便於讀者在實踐中掌握和應用。
  (3)係統性和前瞻性相結閤。PVD先進技術與其他科學技術一樣是不斷發展的,作者在本書中闡述瞭現代PVD錶麵技術的應用,也展望瞭其在未來的應用領域,對於讀者開闊視野、不局限於一本書的範疇具有重要的意義,同時也鼓勵讀者勇於創新、開拓具有美好前景及重要價值的PVD工程應用領域。
  (4)通俗易懂。本書既考慮瞭對這一技術非常瞭解的工程技術人員的技能需求,同時也通過大量的現場照片展示瞭生産的實際過程,對於不懂這一技術的初學者也具有循序漸進的引導作用。
  本書第1~3章、第6、7章由上海應用技術學院張而耕博士編與;第4、5章由馬來西亞StevChuah先生編寫;上海名古屋精密工具股份有限公司技術開發擔當孫思叡協助編寫第4~7章並提供瞭大量的實物圖片;上海高羅輸送裝備有限公司的任英廣總經理審閱瞭本書,並提齣瞭寶貴的修改意見;全書由上海應用技術學院吳雁博士統稿。
  本書在編著過程中得到瞭上海應用技術學院張鎖懷教授的大力支持和幫助,華東理工大學王誌文教授和上海應用技術學院的張東民教授、付澤民博士也提齣瞭寶貴的修改意見,在此錶示衷心的感謝!同時也感謝研究生張體波、周鏗為本書齣版所付齣的努力!
  由於時間倉促,再加上作者水平有限,書中難免有不足之處,敬請讀者批評指正。
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