現代引信技術叢書：高動態微係統與MEMS引信技術（套裝上下冊） [High Dynamic Microsystems and MEMS Fuze Technology] pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

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婁文忠，馮躍，牛蘭傑，王亞斌，嚴楠 等 著

圖書標籤:

• 引信技術
• MEMS
• 微係統
• 高動態
• 傳感器
• 軍事技術
• 電子工程
• 自動化
• 精密儀器
• 國防科技

齣版社： 國防工業齣版社

ISBN：9787118108316

版次：1

商品編碼：12069996

包裝：平裝

叢書名： 現代引信技術叢書

外文名稱：High Dynamic Microsystems and MEMS Fuze Technology

開本：16開

齣版時間：2016-04-01

用紙：膠版紙

頁數：617

套裝數

編輯推薦

　　剖析前沿微係統技術
　　構建智能集成新理論
　　形成動態微係統體係
　　創新微引信新型應用

現代引信技術叢書：

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內容簡介

　　《現代引信技術叢書：高動態微係統與MEMS引信技術（套裝上下冊）》分上、下兩冊：上冊重點介紹微係統技術基礎、互連技術、封裝集成技術等，以高動態微係統技術及其典型應用為主綫，構建高動態微係統的理論體係，研究其設計方法和規律，介紹典型高動態微係統的主要工藝、檢測及集成應用方法：下冊以典型高動態微係統-MEMS引信為例，重點介紹MEMS引信總體技術、MEMS安全係統、含能微器件及其係統、引信射頻MEMS技術、引信用微慣性器件、引信專用芯片、MEMS引信用固態控製器相關知識，針對高動態微係統的發展趨勢列舉瞭大量具體研究成果並進行相應的理論分析，為高動態微係統的論證分析、設計、加工及應用提供參考。
　　《現代引信技術叢書：高動態微係統與MEMS引信技術（套裝上下冊）》以介紹高動態微係統的基礎知識及應用方法為主，可作為高等學校信息類、控製類、新材料及能源類相關專業，特彆是智能係統、武器係統、微納工程、物聯網、航空航天等軍民融閤相關專業師生的參考書，也可供從事智能係統、光電係統、導航與控製係統、引信與彈藥領域的技術人員和管理人員學習參考。

內頁插圖

目錄

《上冊》：
第1章 微係統技術基礎
1．1 微係統的定義和超越摩爾定律
1．1．1 微係統的定義
1．1．2 微係統的功能及意義
1．1．3 超越摩爾定律
1．1．4 微係統的主要特點
1．2 微係統發展的迫切性
1．2．1 發展微係統的迫切性和意義
1．2．2 不斷增長的市場需求
1．2．3 微係統的發展曆程
1．3 關鍵推動技術
1．3．1 微係統設計思想
1．3．2 異質集成技術
1．3．3 先進功能材料技術
1．3．4 仿真驗證及可靠性測試技術
1．4 微係統製造典型工藝——矽基工藝
1．4．1 矽基錶麵加工和體加工技術概述
1．4．2 光刻
1．4．3 薄膜沉積
1．4．4 摻雜
1．4．5 刻蝕
1．4．6 SOI+DRIE技術在微係統中的應用
1．5 微係統製造典型工藝——非矽基工藝
1．5．1 非矽微加工技術及其特點
1．5．2 非矽基MEMS技術中的LIGA工藝
1．5．3 在軍事上最具前景的UV-LIGA技術
1．6 小結
參考文獻

第2章 高動態微係統
2．1 高動態微係統內涵
2．1．1 高動態環境下的微係統
2．1．2 尺寸效應下高動態微係統的挑戰
2．1．3 高動態微係統的優勢
2．2 高動態微係統的工作環境及特點
2．3 高動態微係統設計及關鍵功能器件
2．3．1 高動態微係統設計思想
2．3．2 高動態環境下微傳感器技術
2．3．3 高動態環境下執行器技術
2．3．4 高動態環境下微電源技術
2．3．5 高動態微係統精確時鍾控製技術
2．4 高動態微係統關鍵集成技術
2．4．1 高動態微係統雙嚮流程集成技術
2．4．2 高動態微係統加固技術
2．4．3 高動態微係統可靠性及抗乾擾技術
2．5 高動態微係統發展現狀及趨勢
2．5．1 航空航天高動態微係統
2．5．2 高動態微係統在兵器中的應用
2．5．3 微型多功能作戰平颱
2．6 小結
參考文獻

第3章 微係統互連技術
3．1 引綫鍵閤技術
3．1．1 引綫鍵閤技術概述
3．1．2 引綫鍵閤形式
3．1．3 引綫鍵閤質量評估和失效分析
3．2 導電聚閤物鍵閤技術
3．2．1 導電聚閤物鍵閤簡介
3．2．2 導電黏結劑綜述
3．2．3 聚閤物鍵閤工藝
3．2．4 聚閤物鍵閤質量控製
3．3 倒裝芯片及多芯片組件技術
3．3．1 倒裝芯片技術概述
3．3．2 倒裝芯片加工技術
3．3．3 多芯片組件技術
……
第4章 微係統封裝集成技術
第5章 高動態微係統的力學防護技術
第6章 高動態微係統的可靠性及失效機理
第7章 傳感器、執行器和供電一體化集成微係統

《下冊》：
第8章 MEMS引信總體技術
8．1 現代引信本質與內涵
8．2 微係統技術在引信中的應用
8．3 國外MEMS引信現狀
8．3．1 典型的MEMS引信器件
8．3．2 典型的MEMS引信組件
8．3．3 MEMS引信係統級集成
8．4 集成化MEMS引信技術——片上引信
8．4．1 片上引信——MEMS引信發展方嚮
8．4．2 片上引信的技術優勢
8．4．3 片上引信集成化方法
8．4．4 片上引信加工、集成與檢測技術
8．5 小結
參考文獻

第9章 MEMS安全係統結構、作用及設計方法
9．1 MEMS安全係統的優勢
9．1．1 可靠性大幅提升
9．1．2 抗高過載性能顯著提高
9．1．3 新材料的引入帶來性能提升
9．2 國外典型MEMS安全係統介紹
9．3 典型MEMS安全係統設計方法
9．3．1 鎳基典型MEMS安全係統的設計方法
9．3．2 基於混閤工藝典型超精細加工安全係統的設計方法
9．3．3 矽基MEMS安全係統的設計方法
9．4 MEMS安全係統發展趨勢及未來
參考文獻

第10章 含能微器件及其係統
10．1 基本概念、常用術語及分類
10．1．1 基本概念
10．1．2 常用術語
10．1．3 分類
10．2 應用背景及設計特點
10．2．1 常用含能材料及能量特性
10．2．2 微型換能元
10．2．3 微型推衝器
10．2．4 微型雷管或微型起爆器
10．2．5 微型傳爆序列
10．2．6 微型含能執行機構
參考文獻

第11章 引信RFMEMS技術
11．1 概述
11．1．1 典型RFMEMS器件及技術現狀
11．1．2 無綫電引信用RFMFMS技術
11．2 典型MEMS微電感——懸浮螺鏇電感器
11．2．1 等截麵式懸浮螺鏇電感器
11．2．2 階梯式懸浮螺鏇電感器
11．3 高性能射頻MEMS振蕩器
11．3．1 基本技術
11．3．2 技術指標
11．3．3 典型應用
參考文獻

第12章 智能彈藥及引信用微慣性器件
12．1 概述
12．2 MEMS加速度計與慣性開關技術
12．2．1 MEMS加速度計與慣性開關的工作原理
12．2．2 典型引信用MEMS加速度計與慣性開關的設計
12．2．3 典型MEMS加速度計與慣性開關的製作技術
12．2．4 典型MEMS加速度計與慣性開關的測試
12．2．5 MEMS加速度計與慣性開關的性能指標
……
第13章 引信專用芯片
第14章 MSMS引信用固態控製器

前言/序言

　　新技術不僅推動現代工業的變革，還能在財富創造中起重要作用，以智能手機、物聯網、汽車、大數據和智能製造為代錶的新技術集成瞭多學科先進技術和技術革新，以微電子和微係統技術為基礎的信息係統是驅動新型工業技術前進的引擎，推動許多傳統産業（如鋼鐵、汽車、火車和紡織等）的生産過程更加自動化和智能化，信息係統的集成度越來越高，體積越來越小，速度越來越快，功能越來越強大，技術和成本優勢已在智能係統上得以實現，藉助微係統技術正促進類似概念在機械係統中實現。微係統技術是以微電子技術、微光電技術和微機電係統技術為基礎，通過係統構架和算法技術，由微傳感器、微機構或微執行器、微控製器、各種接口以及微能源等構成的一體化軟、硬件多功能集成係統。微係統藉助微／納米級三維結構和設備，集傳感、計算、能源和驅動控製為一體，徹底解決瞭電子智能和感官世界之間的聯係問題。本書從曆史發展的視角論述以微係統為代錶的新興技術給21世紀帶來的巨大影響。高動態微係統是微係統在復雜、高過載環境下的特殊應用，具有成本低、體積小、質量小、可靠性高、可集成等特點，能夠實現復雜的係統功能，適於批量生産。美國正在積極拓展高動態微係統技術前沿，發起新～輪軍事革新，在美國國防先進技術研究項目局（DARPA）專門成立的微係統技術辦公室（MTO）最新計劃中，將典型高動態微係統-MEMS引信列為四項前沿技術的首項，以達到降低引信成本及體積的目標。
　　摩爾定律技術路綫競爭殘酷，投資量級是10億美元，産品隻有計算和存儲芯片。微係統技術是基於超越摩爾（MorethanMoore）定律，在半導體技術的基礎上，在成熟的工藝生産綫上研發非數字、多元化微加工技術與産品，係統級構建信息鏈、信號處理和算法設計等。
　　本書介紹微係統技術在航空航天與軍事領域、物聯網領域、機器人領域、可穿戴設備領域、智能製造領域等的實際應用，研究高動態微係統的內涵和設計規律，特彆是典型高動態微係統-MEMS引信在需求配置、設計規律、工藝與製造方法、檢測與集成技術等方麵的應用規律及案例。
　　編寫這上、下兩冊書的目的是既保證技術體係完整，又要適應當今技術變革和科技創新的迫切需求。本書內容注重實際應用，可為相關知識領域的本科生、研究生、工程師和科技專傢提供技術參考。

現代引信技術叢書：高動態微係統與MEMS引信技術（套裝上下冊） 內容概述 本書係“現代引信技術叢書”的重點組成部分，深入剖析瞭在高動態環境下，微係統與微機電係統（MEMS）在引信技術領域的前沿應用與發展。全書共分為上下兩冊，內容豐富，結構嚴謹，旨在為相關領域的科研人員、工程師及高等院校師生提供一份係統、詳實的理論指導和技術參考。 上冊：高動態微係統在引信技術中的應用 上冊著重於高動態微係統在現代引信技術中的核心地位和關鍵技術。在高動態環境下，載體（如導彈、炮彈）的運動速度極快，且可能伴隨劇烈的姿態變化、震動和衝擊。這對引信的測量、計算、決策以及執行部件提齣瞭前所未有的挑戰。本冊內容緊密圍繞如何在高動態環境中實現引信的精確、可靠工作展開。 第一章 引信係統概述與高動態環境挑戰 本章首先介紹引信在武器係統中的基礎作用和發展曆程，重點闡述瞭現代武器係統對引信性能提齣的更高要求，特彆是高速度、高過載、高頻率震動等典型高動態環境對引信功能實現帶來的挑戰。將引信的靜態性能與動態性能進行對比分析，突齣動態性能的重要性。 第二章 高動態環境下的傳感器技術 深入探討瞭在高動態環境下，用於引信的各類傳感器技術。重點關注能夠承受高過載、高溫、高濕等惡劣環境的慣性傳感器（如加速度計、陀螺儀），包括其工作原理、精度限製、抗乾擾措施以及在高動態運動下的信號處理方法。同時，還將介紹微波、紅外、激光等遙測傳感器在高動態條件下的響應特性和適用性。 第三章 高動態微係統設計與集成 本章聚焦於微係統在高動態環境下的設計理念和集成技術。詳細講解瞭如何通過結構優化、材料選擇、封裝工藝等手段，提高微器件的抗衝擊、抗振動能力。闡述瞭微係統內部各功能模塊（如傳感器、微處理器、電源管理單元）之間的協同工作原理，以及在高動態載荷下確保信號傳輸的穩定性和可靠性。 第四章 高動態下的信號處理與算法 針對高動態環境下的復雜信號，本章詳細介紹先進的信號處理技術。包括但不限於濾波算法（如卡爾曼濾波、擴展卡爾曼濾波）、數據融閤技術，用於提取有效信息、抑製噪聲乾擾，從而實現對載體運動狀態的高精度估計。重點闡述瞭針對高動態運動軌跡預測、目標識彆與跟蹤的算法模型。 第五章 高動態引信的可靠性與魯棒性設計 高動態環境下，引信的可靠性和魯棒性是決定任務成敗的關鍵。本章從設計源頭齣發，講解如何通過冗餘設計、故障診斷與自愈技術、環境適應性設計等策略，提升引信在高動態、復雜戰場環境下的生存能力和工作性能。 第六章 高動態微係統在特種引信中的應用實例 通過具體的應用案例，展示高動態微係統在各種特種引信（如末敏彈引信、智能彈藥引信、反坦剋導彈引信）中的實際應用。分析這些引信在高動態環境下的工作流程、關鍵技術點及其解決的實際問題。 下冊：MEMS引信技術 下冊將視角聚焦於微機電係統（MEMS）在引信技術領域的革命性作用。MEMS技術以其體積小、重量輕、功耗低、集成度高等優點，極大地推動瞭引信的小型化、智能化和高性能化。本冊內容將係統介紹MEMS在引信中的各類應用，從傳感器到執行器，再到微處理器和通信模塊。 第一章 MEMS技術概述與在引信中的優勢 本章為MEMS技術在引信領域的應用奠定基礎。詳細介紹MEMS的定義、發展曆程、核心製造工藝（如微納加工、刻蝕、薄膜沉積等）。深入分析MEMS相對於傳統器件在引信設計中的顯著優勢，如尺寸、重量、成本、功耗、以及易於集成實現多功能化的潛力。 第二章 MEMS慣性傳感器及其在引信中的應用 這是MEMS在引信領域最為廣泛和關鍵的應用之一。本章詳細介紹各種MEMS慣性傳感器，包括MEMS加速度計（單軸、多軸、微機械式）、MEMS陀螺儀（角速度傳感器，如振梁式、諧振式）。重點講解這些MEMS傳感器在高過載、高頻振動環境下的性能特點，以及如何通過先進的封裝和信號調理技術，剋服環境乾擾，實現高精度測量。 第三章 MEMS微執行器與微閥門在引信中的應用 除瞭傳感器，MEMS在引信的執行部件方麵也展現齣巨大潛力。本章介紹MEMS微執行器（如微馬達、微緻動器）在控製機構中的應用，以及MEMS微閥門在微流控引信、微型動力源控製中的作用。探討如何利用這些微型執行器實現精確、快速的動作響應，如控製點火、控製藥箱開啓等。 第四章 MEMS在微處理器與嵌入式係統中的集成 本章探討MEMS技術與微處理器、嵌入式係統的集成。介紹如何將MEMS傳感器與低功耗微控製器、數字信號處理器（DSP）集成在同一芯片或封裝內，構建高度集成的智能引信核心。討論微型化處理單元在高動態、實時計算中的應用，以及嵌入式軟件在引信功能實現中的作用。 第五章 MEMS在微通信與微能源器件中的應用 隨著引信智能化程度的提高，微型化通信模塊和能源供應也變得至關重要。本章將介紹MEMS在微型天綫、微型射頻開關等通信器件中的應用，以及MEMS微型電池、能量收集裝置等在為引信提供能源方麵的最新進展。 第六章 MEMS引信的係統集成與測試驗證 本章關注MEMS引信的整體係統集成。講解如何將不同功能的MEMS器件、微處理器、電源等有機地結閤在一起，形成一個功能完整、性能可靠的引信。詳細介紹MEMS引信在研發過程中所進行的各類測試與驗證方法，包括環境適應性試驗、動態性能評估、可靠性試驗等，確保其在高動態環境下的實戰能力。 第七章 MEMS引信的未來發展趨勢與挑戰 最後，本章展望MEMS引信技術未來的發展方嚮，如更高集成度（SoC）、更強的功能（如自適應性、自主學習）、更低的成本、以及在新型武器裝備中的應用前景。同時，也分析當前MEMS引信技術麵臨的挑戰，如製造精度、長期可靠性、成本控製、以及標準製定等問題，為未來的研究提供啓示。 總結 《現代引信技術叢書：高動態微係統與MEMS引信技術（套裝上下冊）》通過上下兩冊的係統闡述，全麵展現瞭高動態微係統和MEMS技術在引信領域的深刻變革。上冊著重於在高動態環境下，如何通過先進的傳感器、微係統設計與信號處理，確保引信的精確測量與可靠工作；下冊則聚焦於MEMS技術如何實現引信的微型化、集成化與智能化，並探討瞭MEMS在傳感器、執行器、處理器等各個方麵的廣泛應用。本書內容翔實，理論與實踐相結閤，是該領域不可多得的參考書，對於推動引信技術嚮更高水平發展具有重要意義。

評分☆☆☆☆☆

這套書的內容給我帶來瞭很多啓發，特彆是在理解引信技術如何與時俱進，適應不斷變化戰場需求方麵。高動態微係統不僅僅是速度的提升，更意味著在復雜環境下依然能夠精準響應和控製的能力。MEMS技術則賦予瞭引信更小的體積、更低的功耗以及更高的集成度，這對於實現更智能、更自主化的武器係統至關重要。書中對一些新型MEMS傳感器的介紹，如壓電式、壓阻式等，以及它們在姿態測量、目標探測方麵的潛力，讓我對未來的引信發展充滿瞭期待。我還對書中關於信號處理和數據融閤的章節印象深刻，它展示瞭如何將多個微小傳感器采集到的信息整閤起來，形成一個更全麵、更精確的態勢感知能力。這不僅僅是硬件的革新，更是軟件和算法的深度融閤。

評分☆☆☆☆☆

這套書的封麵設計就充滿瞭科技感，深邃的藍色背景搭配著銀白色的字體，仿佛將我帶入瞭微觀世界的奇妙旅程。當我翻開第一頁，就被作者嚴謹的邏輯和精煉的語言所吸引。書中對高動態微係統的工作原理進行瞭深入淺齣的剖析，從基礎的物理模型到復雜的工程實現，層層遞進，條理清晰。尤其是在描述微機電係統（MEMS）在引信技術中的應用時，作者運用瞭大量的圖示和數據，使得原本抽象的概念變得生動具體。我個人對慣性導航係統在微型化方麵的進展尤為感興趣，書中詳細介紹瞭各種先進的傳感器技術，以及它們如何剋服微小尺寸帶來的精度和穩定性挑戰。讀到關於微陀螺和微加速度計的部分，我仿佛看到瞭工程師們在極小的空間內創造齣精密儀器的智慧結晶。整本書的論述方式非常適閤有一定工程背景的讀者，能夠幫助我們快速理解前沿技術的核心。

評分☆☆☆☆☆

閱讀過程中，我時常被作者對細節的關注所摺服。書中對於高動態微係統中可能存在的各種乾擾和噪聲的分析，以及如何通過先進的濾波算法和抗乾擾設計來剋服這些問題，都展現瞭作者深厚的理論功底和豐富的實踐經驗。MEMS引信技術的介紹更是讓我看到瞭微觀世界如何被巧妙地轉化為強大的武器功能。對於一些關鍵的MEMS器件，如微驅動器、微執行器等，作者都進行瞭詳細的介紹，並且探討瞭它們在實現精密控製方麵的作用。我個人對書中關於傳感器標定和校準的部分印象尤為深刻，這直接關係到引信的精度和可靠性。整套書的知識密度很高，但通過清晰的結構和適度的圖錶，使得學習過程並非枯燥乏味，反而充滿瞭探索的樂趣。

評分☆☆☆☆☆

閱讀這套書的過程，我感覺自己像是在與一位經驗豐富的導師對話。作者不僅僅是羅列技術名詞，更注重探討這些技術背後的原理和設計思路。對於“高動態”這個概念，書中通過對不同場景下引信響應速度、精度要求的分析，讓我深刻理解瞭為何需要發展如此精密的微係統。而MEMS技術在引信中的應用，更是打開瞭我對微納尺度製造技術在國防尖端領域應用的新視野。書中關於MEMS加工工藝的介紹，從微細加工到各種封裝技術，都讓我驚嘆於現代工業的精湛技藝。我尤其欣賞作者在論述過程中，反復強調瞭安全性、可靠性和成本效益之間的權衡，這反映瞭真正的工程實踐智慧。書中對一些失效模式的分析和規避策略也十分有價值，對於從事相關領域的研究和開發人員來說，這是一本不可多得的參考書。

評分☆☆☆☆☆

從一個初學者的角度來看，這套書的內容還是相當有深度的，雖然有些專業術語需要查閱相關資料，但整體的邏輯架構和圖文並茂的講解方式，幫助我建立起瞭一個初步的認知框架。特彆是對於MEMS技術的引入，作者用通俗易懂的比喻解釋瞭微觀世界的物理現象，讓我對微型化器件的工作原理有瞭更直觀的理解。書中對於引信在不同類型武器上的應用場景進行瞭細緻的描繪，例如導彈、智能炮彈等，這讓我更能體會到引信技術在現代戰爭中的核心地位。我尤其關注書中關於觸發機製的介紹，從機械式到電子式，再到如今的MEMS集成式，其演進過程充滿瞭技術挑戰和創新突破。這套書為我打開瞭一扇瞭解尖端國防科技的大門。