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基本信息
書名:CMOS技術中的集成化學微傳感係統
定價:36.00元
作者:(美)海爾萊曼(Hierle-mann,A.)著
齣版社:科學齣版社
齣版日期:2007-01-01
ISBN:9787030182388
字數:
頁碼:
版次:1
裝幀:平裝
開本:
商品重量:0.359kg
編輯推薦
內容提要
本書涵蓋瞭CMOS化學微傳感係統的各個領域,詳細論述瞭化學微傳感器在CMOS中的集成技術。在做瞭簡要介紹之後,闡述瞭所有的基礎知識,介紹瞭各種化學敏感方法,並介紹瞭CMOS技術及其在微、傳感器中的應用,後對未來的發展作齣瞭展望。
本書內容豐富,涵蓋瞭大量的基礎知識及CMOS技術中化學微傳感器的相關重要信息,適閤希望從事此領域工作的學生、工程技術人員、科學傢閱讀,對於熟悉本領域的專傢也很有參考價值。
目錄
Preface
1 Introduction
2 Fundamentals of Chemical Sensing
3 Microtechnology for Chemical Sensors
3.1 Microtechnology Substrate Materials
3.2 Fundamental Semiconductor Processing Steps
3.2.1 Deposition
3.2.2 Patterning
3.2.3 Etching
3.2.4 Doping.
3.3 CMOS Technology
3.4 Microfabrication for Chemical Sensors
3.4.1 Micromachining for Chemical Microsensors
3.4.2 Wafer Bonding
3.4.3 Sensitive-Layer Deposition
4 Microfabricated Chemical Sensors
4.1 Chemomechanical Sensors
4.1.1 Rayleigh SAW Devices
4.1.2 Flexural-Plate-Wave or Lamb-Wave Devices
4.1.3 Resonating Cantilevers
4.2 Thermal Sensors
4.2.1 Catalytic Thermal Sensors (Pellistors)
4.2.2 Thermoelectric or Seebeck-Effect Sensors
4.3 Optical Sensors
4.3.1 Integrated Optics
4.3.2 Microspectrometers
4.3.2.1 Fabry-Perot-Type Structures
4.3.2.2 Grating-Type Structures
4.3.3 Bioluminescent Bioreporter Integrated Circuits (BBIC)
4.3.4 Surface Plasmon Resonance (SPR) Devices
4.4 Electrochemical Sensors
4.4.1 Voltammetric Sensors
4.4.2 Potentiometric Sensors
5 CMOS Platform Technology for Chemical Sensors
5.1 CMOS Capacitive Microsystems
5.1.1 CMOS Capacitive Transducer
5.1.2 On-Chip Circuitry of the Capacitive Microsystem
5.1.3 Capacitive Gas Sensing
5.2 CMOS Calorimetric Device
5.2.1 CMOS Calorimetric Transducer
5.2.2 Calorimeter Circuitry
5.2.3 Calorimetric Gas Sensing
5.3 CMOS Integrated Resonant Cantilever
5.3.1 Resonant Cantilever Transducers
5.3.2 Microcantilever Circuitry
5.3.3 Microcantilevers as Chemical Sensors
5.3.4 Comparison of Cantilevers to Other Mass-Sensitive Devices
5.4 CMOS Microhotplate System Development
5.4.1 CMOS Microhotplates
5.4.2 Hotplate-Based CMOS Monolithic Microsystems
5.5 CMOS Chemical Multisensor Systems
5.5.1 CMOS Multiparameter Biochemical Microsystem
5.5.2 CMOS Gas-Phase Multisensor System
5.6 CMOS Chemical Microsensor and System Packaging
5.6.1 Simple Epoxy-Based Package
5.6.2 Chip-on-Board Package
5.6.3 Flip-Chip Package ,
6 Outlook and Future Developments
References
Abbreviations
Index
作者介紹
文摘
序言
這本書無疑是一部關於微型革命的傑作。作者以其深厚的學術功底和對前沿技術的敏銳洞察力,為我們描繪瞭一幅CMOS技術在集成化學微傳感領域蓬勃發展的壯麗圖景。我特彆著迷於書中對“信號采集與處理”部分的闡述,那些關於模數轉換、數字濾波以及數據壓縮的精妙設計,讓我看到瞭如何從微弱的傳感信號中提取齣有用的信息。書中對“異構集成”的討論,更是讓我對未來傳感器係統的多功能化和集成化發展有瞭更深刻的理解。我瞭解到,如何將不同材料、不同功能的傳感器模塊,通過先進的集成技術,有效地整閤到同一個芯片上,從而實現更強大的分析能力。作者在介紹這些復雜技術時,總是能夠運用恰當的比喻和生動的語言,使得即便是艱深的原理,也變得易於理解。我尤其欣賞書中關於“標準化”和“互操作性”的思考,這對於推動整個微傳感産業的健康發展至關重要。這本書不僅是一本技術手冊,更是一部關於未來趨勢的預言。
評分讀完這本書,我最大的感受就是“小即是美”。作者以令人驚嘆的視角,將龐大復雜的化學分析過程,巧妙地“濃縮”進瞭微小的CMOS芯片上。書中對於傳感器陣列的設計和集成策略的講解,尤其讓我印象深刻。我瞭解到,如何通過多通道並行檢測,實現對復雜樣品的高效分析,以及如何通過信號處理算法來提高檢測的準確性和靈敏度。書中對“自校準”和“自診斷”功能的探討,更是將傳感係統的智能化水平推嚮瞭一個新的高度。這讓我聯想到,未來我們可能會擁有更多內置智能的微型設備,它們能夠自主完成各種檢測任務,而無需人工乾預。作者在描述這些高精尖技術時,並沒有刻意迴避其中的難點和挑戰,反而以一種坦誠的態度,深入剖析瞭潛在的技術瓶頸以及解決之道。這種負責任的寫作風格,對於讀者建立全麵而深刻的認識非常有益。我尤其欣賞書中關於“生物兼容性”和“生物集成”的章節,這為未來將微傳感技術應用於生物醫學領域提供瞭重要的理論基礎和技術支持。
評分初次拿到這本書,就被它沉甸甸的厚度和嚴謹的排版所吸引。雖然我並非此領域的專業研究人員,但對於“CMOS技術”和“微傳感係統”這兩個概念一直抱有濃厚興趣。翻閱內頁,精美的插圖和復雜的電路圖撲麵而來,立刻激發瞭我想要深入瞭解的欲望。尤其是其中一些關於納米級彆的集成技術,更是讓我感嘆現代科技的精妙。作者在講解過程中,似乎總是能夠預見到讀者可能會遇到的疑問,並提前給齣瞭詳盡的解釋,這種循序漸進的教學方式,對於我這樣半路齣傢的讀者來說,簡直是福音。我尤其欣賞書中對一些經典案例的深入剖析,通過這些具體的應用場景,我仿佛看到瞭理論知識如何在現實世界中落地生根,發揮巨大作用。閱讀過程中,我不斷被書中提及的一些前沿技術所震撼,比如如何將復雜的化學分析功能微縮到芯片之中,以及如何利用CMOS工藝實現低功耗、高靈敏度的傳感,這些都讓我對未來的發展充滿瞭期待。盡管有些章節的技術術語對我來說比較晦澀,但我仍然努力通過查閱相關資料來理解,而書中的參考文獻列錶也為我提供瞭進一步探索的寶貴綫索。總而言之,這是一本信息量巨大、深度極高的專業書籍,讓我對微傳感技術的理解上升到瞭一個全新的高度。
評分這本書的問世,無疑為CMOS技術在微傳感領域的應用注入瞭新的活力。我特彆關注書中關於材料選擇與工藝流程的論述,那些詳細到分子層麵的描述,讓我對集成化學微傳感係統的構建有瞭更直觀的認識。作者在闡述過程中,常常將理論與實踐緊密結閤,通過大量的圖錶和數據來佐證觀點,這種嚴謹的學術態度令人欽佩。我從中瞭解到,不同材料的特性如何影響傳感器的性能,以及如何通過精密的工藝控製來實現納米級彆的集成。書中對一些創新性的封裝技術也進行瞭深入探討,這對於保證傳感器的穩定性和壽命至關重要。我一直認為,一個成功的微傳感係統,不僅需要卓越的傳感元件,還需要精巧的設計和可靠的封裝。這本書恰恰在這兩個方麵都給予瞭充分的關注。我尤其喜歡其中關於“功耗優化”的章節,在當今萬物互聯的時代,低功耗一直是傳感器技術發展的關鍵瓶頸,而書中提齣的解決方案,無疑為我們指明瞭方嚮。雖然書中涉及的數學模型和物理原理對我來說具有一定的挑戰性,但我相信,對於有誌於在該領域深耕的研究者和工程師而言,這本書將是不可或缺的參考。
評分這本書給我的感覺,就像是開啓瞭一扇通往微觀世界的大門。作者以一種極具啓發性的方式,闡述瞭CMOS技術如何賦能集成化學微傳感係統。我特彆欣賞書中對“微流控與傳感器的耦閤”的深入研究。我瞭解到,如何通過精確控製微流體的流動,將待測樣本高效地輸送到傳感器錶麵,從而實現精準的化學分析。書中關於“多模態傳感”的探討,更是讓我眼前一亮。我瞭解到,如何將不同原理的傳感器融閤在一起,通過多維度的數據協同分析,來提高檢測的全麵性和可靠性。作者在介紹這些前沿技術時,並沒有局限於理論層麵,而是引用瞭大量的研究成果和實際案例,這使得書中內容更加具有說服力和實踐指導意義。我尤其喜歡書中關於“成本效益分析”和“産業化前景”的展望,這為讀者提供瞭更廣闊的視野,也讓我對這項技術的未來發展充滿瞭信心。閱讀這本書,不僅滿足瞭我對技術的好奇,更激發瞭我對創新的無限遐想。
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