書名:微電子封裝超聲鍵閤機理與技術
定價:150.00元
售價:112.5元,便宜37.5元,摺扣75
作者:韓雷
齣版社:科學齣版社
齣版日期:2014-06-01
ISBN:9787030412140
字數:
頁碼:
版次:1
裝幀:精裝
開本:16開
商品重量:0.4kg
《微電子封裝超聲鍵閤機理與技術》可作為高等院校微電子製造工程專業的研究生參考書,也可供機械、材料、測控技術等領域從事微電子製造研究的科研人員使用和參考。
《微電子封裝超聲鍵閤機理與技術》是作者關於超聲鍵閤機理和技術研究的總結。主要內容包括:微電子製造的發展,超聲鍵閤在封裝互連中的地位、研究現狀、存在問題;換能係統的設計原則、仿真手段和實際使用中的特性測試;對超聲鍵閤微觀實驗現象以及機理的科學認識和推斷;熱超聲倒裝鍵閤工藝的技術研究;鍵閤過程和鍵閤動力學的檢測;疊層芯片互連;銅綫鍵閤、打火成球、引綫成形、超聲電源。
目錄
前言
章緒論1
1 1新技術革命浪潮下的微電子製造1
1 2現代微電子製造業中的封裝互連4
1 3微電子封裝測試和可靠性10
1 4微電子封裝互連的發展趨勢12
1 5超聲鍵閤機理與技術研究16
參考文獻24
第2章換能係統振動特性有限元分析25
2 1壓電材料結構的有限元方法25
2 2換能係統有限元模型28
2 3模態分析30
2 4諧響應分析41
參考文獻43
第3章換能係統多模態特性實驗研究44
3 1測試方法44
3 2測試結果46
3 3鍵閤工具響應振型與運動軌跡分析50
3 4多模態特性對鍵閤質量的影響52
3 5換能係統多模態産生原因及抑製建議55
參考文獻59
第4章換能係統優化與設計61
4 1基本結構尺寸計算61
4 2基於頻率靈敏度方法的係統結構優化65
4 3加工與裝配68
4 4設計實例69
參考文獻74
第5章PZT換能係統的特性和行為75
5 1換能係統等效電路與電學導納特性75
5 2阻抗分析儀測試換能係統的電學特性82
5 3加載電壓對PZT壓電換能器穩態電學特性的影響87
5 4環境溫度對PZT壓電換能器穩態電學特性的影響90
5 5連接鬆緊度對PZT壓電換能器穩態電學特性的影響93
5 6超聲換能係統的穩態響應與速度導納97
5 7超聲換能係統的實際加卸載過程100
5 8超聲換能係統的俯仰振動103
5 9劈刀的振動模態110
5 10換能係統電學輸入的復數錶示117
5 11實際引綫鍵閤過程換能係統的能量輸入122
參考文獻125
第6章超聲鍵閤界麵快速形成機理128
6 1超聲振動激活金屬材料位錯的觀察128
6 2原子擴散體係的激活能及快速通道機製134
6 3超聲界麵快速擴散通道機理143
參考文獻146
第7章擴散鍵閤界麵強度構成與演變規律148
7 1界麵原子擴散層厚與微結構強度構成148
7 2超聲鍵閤過程多參數與鍵閤界麵微結構演變規律155
7 3超聲鍵閤係統阻抗/功率特性164
參考文獻175
第8章熱超聲倒裝鍵閤界麵規律與鍵閤工具設計176
8 1熱超聲倒裝實驗平颱的搭建176
8 2多點芯片熱超聲倒裝鍵閤的實現177
8 3倒裝凸點的熱超聲植球工藝探索180
8 4倒裝界麵、鍵閤工具、工藝的協同181
參考文獻183
第9章倒裝多界麵超聲傳遞規律與新工藝184
9 1倒裝二鍵閤界麵TEM特性與界麵擴散184
9 2倒裝二界麵性能分析與工藝新構思188
9 3基闆傳能與基闆植球倒裝實現與傳能規律192
9 4熱超聲倒裝二界麵傳能規律分析195
9 5熱超聲倒裝鍵閤過程多參數影響規律198
參考文獻200
0章熱超聲倒裝鍵閤實驗係統及其相關技術201
10 1熱超聲倒裝鍵閤試驗颱201
10 2超聲在變幅杆 工具中的傳遞208
10 3超聲在倒裝界麵間的傳遞過程215
10 4熱超聲倒裝鍵閤過程監測係統229
10 5鍵閤過程監測係統數據采集和分析237
10 6金凸點 焊盤界麵的有限元模型及其求解244
10 7鍵閤力和超聲振動對鍵閤麵應力分布的影響250
10 8鍵閤強度的形成機理255
參考文獻263
目錄 v
vi 微電子封裝超聲鍵閤機理與技術
1章熱超聲倒裝鍵閤工藝優化266
11 1超聲功率對熱超聲倒裝鍵閤的影響266
11 2鍵閤力對熱超聲倒裝鍵閤的影響270
11 3鍵閤時間對熱超聲倒裝鍵閤的影響273
11 4超聲作用下金凸點的變形測量276
11 5熱超聲倒裝鍵閤的典型失效形式279
11 6新型熱超聲倒裝鍵閤工藝的提齣282
11 7階梯式鍵閤參數加載過程對倒裝鍵閤強度的影響283
參考文獻291
2章引綫鍵閤過程的時頻分析293
12 1新的解決方案——時頻分解293
12 2鍵閤壓力改變對鍵閤強度的影響299
12 3劈刀鬆緊度影響的時頻特徵321
12 4換能係統俯仰振動的時頻特徵333
參考文獻337
3章換能係統與鍵閤動力學的非綫性檢測與分析340
13 1工藝窗口與非綫性過程340
13 2鎖相非綫性342
13 3換能係統的非平穩加載345
13 4動力學係統的實驗建模與鍵閤工具對換能係統的非綫性作用346
13 5加載邊界條件以及滑移/黏滯現象351
13 6相關分析及其應用354
13 7關聯維數分析及其應用359
13 8鍵閤動力學細節判斷與認識368
13 9Lyapunov指數分析及其應用377
參考文獻381
4章加熱颱溫度引起對準誤差的檢測與消除383
14 1熱超聲倒裝鍵閤機的視覺係統384
14 2係列圖像的預處理和基本評價387
14 3圖像整體抖動的Weibull模型391
14 4圖像的錯位和畸變395
14 5加熱條件下係列圖像的整體和局部運動405
14 6吹氣裝置的實驗研究411
參考文獻418
5章基於高速攝像的EFO打火成球實驗研究421
15 1研究背景421
15 2打火成球過程研究實驗係統423
15 3球形成過程的分析429
15 4高爾夫球形成規律實驗研究438
15 5打火成球過程的熱能量利用估算447
參考文獻459
6章三維疊層芯片的互連461
16 1摩爾定律與疊層芯片互連461
16 2壓電底座激振裝置463
16 3激勵源與激振信號464
16 4疊層芯片一階固有頻率的實驗判彆473
16 5紅外測溫的可行性與加熱颱的升溫479
16 6加熱升溫的建模與芯片結構測溫實驗結果481
16 7疊層芯片引綫鍵閤動力學條件的討論489
參考文獻491
7章懸臂鍵閤與銅綫互連493
17 1超聲驅動電信號分析493
17 2懸臂鍵閤芯片撓度及鍵閤點形貌特性495
17 3懸臂鍵閤強度與界麵結構分析497
17 4提高懸臂鍵閤強度的工藝研究499
17 5銅綫懸臂鍵閤特性與規律505
17 6Cu綫鍵閤界麵的微區X衍射與HRTEM測試與分析509
17 7界麵Cu Al金屬化閤物形成條件及其晶體結構特性511
17 8銅綫鍵閤界麵特性與鍵閤強度的關係519
17 9Cu綫和Au綫鍵閤界麵微觀特性與性能比較519
參考文獻524
8章引綫成形過程的研究528
18 1引綫成形過程的研究現狀528
18 2基於高速攝像的引綫成形過程實驗研究529
18 3引綫成形過程的有限元分析558
參考文獻573
9章基於FPGA的超聲發生器設計與實現575
19 1超聲發生器的研究現狀575
19 2超聲發生器的建模與仿真581
19 3超聲發生器的頻率控製594
19 4基於FPGA的智能超聲發生器設計606
19 5智能超聲發生器的性能測試621
參考文獻631
目錄 vii
viii 微電子封裝超聲鍵閤機理與技術
這本書的敘述風格非常直接,幾乎沒有冗餘的修飾語,直奔主題,這種高效的溝通方式深得我心。我是一名資深工程師,日常工作中對工具書的實用性要求極高。我發現這本書在介紹不同類型超聲鍵閤設備的結構特點時,對比分析得極其透徹,尤其對各種傳感器和控製係統的參數設定給齣瞭非常詳盡的參考範圍。我特彆喜歡它對工藝窗口波動的敏感性分析,那種細緻入微到小數點後幾位的討論,體現瞭作者對實際生産綫上“良率”這一核心指標的深刻理解。相比於我之前看過的幾本側重於設備介紹的教材,這本書更像是附帶瞭多年實踐經驗的“內部操作手冊”。每一次翻閱,都能在某個不起眼的圖錶中發現新的優化點,這對於我們優化現有生産綫,降低故障率起到瞭立竿見影的作用。它不是教人如何做簡單的組裝,而是教人如何成為一個能精確掌控過程的工藝專傢。
評分這本書的裝幀雖然普通,但內頁的排版卻非常清晰,圖錶的質量也相當高,這是我非常看重的一點。高質量的插圖在理解微觀結構和動態過程時起到瞭至關重要的作用。我特彆留意瞭其中關於鍵閤頭振幅和頻率精確控製的部分,作者詳細闡述瞭如何通過優化換能器的設計來獲得更平穩、更均勻的超聲輸齣,這對於提升大尺寸芯片的鍵閤均勻性至關重要。此外,書中對在綫監測技術(In-situ Monitoring)的發展脈絡梳理得非常到位,從最初的功率反饋到現在的聲阻抗分析,清晰地勾勒齣瞭該領域的技術演進路綫圖。這本書的價值不僅在於它提供瞭現有的技術知識,更在於它為我們指明瞭未來技術發展可能突破的方嚮,哪些環節的控製精度仍有提升空間。它為我們提供瞭一個堅實的理論基座,讓我們能夠在此之上,持續地進行創新和突破。
評分坦率地說,這本書的閱讀體驗是充滿挑戰性的,它對讀者的基礎知識儲備要求很高,更像是一本麵嚮高年級博士生的專業參考書,而非入門讀物。章節間的邏輯遞進非常緊密,如果對半導體物理和固體力學的基礎概念理解不夠紮實,很容易在理解後續章節的復雜推導時感到吃力。不過,正是這種高強度的知識密度,保證瞭其內容的深度和權威性。我個人非常欣賞作者在引用前沿文獻時的那種審慎態度,大量的實驗數據支撐和嚴謹的論證過程,使得書中的每一個結論都具有極高的說服力。它不追求廣度,而是力求在特定領域內達到極緻的深度。這種“專精”的風格,使得這本書在同行中的地位難以撼動,它更像是實驗室裏一本被翻爛瞭的工具書,而不是書架上用來裝飾的擺設。
評分這本封麵設計樸實無華,卻散發著一種深沉的學術氣息的書籍,讓我忍不住一探究竟。初翻幾頁,便被其中精密的理論架構所吸引。它仿佛是一把精密的尺子,丈量著微電子製造領域裏那些看似微小卻至關重要的環節。我特彆關注到書中對材料科學與力學結閤的探討,那種將宏觀的物理定律巧妙地映射到微米乃至納米尺度上的描述,既嚴謹又富有洞察力。比如,書中關於超聲波能量如何在焊點中有效傳遞並引發塑性形變的數學模型推導,看得我如癡如醉。它並非那種浮於錶麵的科普讀物,而是深入到機理底層,試圖揭示“為什麼會成功”和“怎樣纔能更好”的本質問題。讀完關於鍵閤界麵質量控製的那一章,我感覺自己對焊點的可靠性有瞭全新的理解,那種從原理到實踐的閉環思考方式,對我目前的科研工作大有裨益。整體而言,這是一部需要沉下心來細細品味的專業著作,它教會的不僅僅是“如何操作”,更是“為何如此操作”的深層邏輯。
評分當我翻到後麵涉及失效分析的部分時,纔真正體會到這本書的價值之所在。它沒有迴避那些在實際生産中讓人頭疼的難題,而是將常見的鍵閤失敗模式進行瞭係統的分類和歸因。從焊點冷焊、過度加熱到超聲能量分布不均導緻的虛焊,每一種情況作者都提供瞭詳盡的物理機製解釋和對應的電學、力學診斷方法。我印象最深的是關於鍵閤過程中的溫度場模擬,那種多物理場耦閤的分析,讓我清楚地看到瞭在高速超聲作用下,界麵溫度是如何瞬態變化的。這讓我對自己之前遇到的一些間歇性故障有瞭豁然開朗的感覺。這本書的強大之處在於,它不是停留在現象描述層麵,而是通過嚴謹的數學模型和仿真驗證,構建瞭一個完整的“故障診斷-機理探究-預防策略”的知識體係。對於任何一個從事高可靠性電子産品研發的人來說,這本書都是一本不可或缺的“排雷指南”。
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