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作  者:Reza Ghodssi 著作 黄庆安 等 译者 定  价:198 出 版 社:东南大学出版社 出版日期:2014年03月01日 页  数:966 装  帧:平装 ISBN:9787564140533 ●1 MEMS设计流程2 半导体和介质材料的添加工艺
●3 金属材料的添加工艺
●4 聚合物材料的添加工艺
●5 压电材料的添加工艺：压电MEMS
●6 形状记忆合金材料与工艺
●7 微机械加工中的干法刻蚀
●8 MEMS湿法腐蚀工艺和过程
●9 MEMS光刻和微加工技术
●10 MEMS中的掺杂工艺
●11 圆片键合
●12 MEMS封装材料
●13 表面处理及平坦化
●14 MEMS工艺集成
●……
●

内容简介

微机电系统(mems)技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。《mems材料与工艺手册》由利萨·格迪斯著，内容包括mems材料，mems加工工艺和制造工艺，mems工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。本手册适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。
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