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基本信息
書名:半導體材料標準匯編(2014版) 基礎、産品和管理標準分冊
定價:230.00元
作者:全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料
齣版社:中國標準齣版社
齣版日期:2014-11-01
ISBN:9787506677516
字數:
頁碼:
版次:1
裝幀:平裝
開本:大16開
商品重量:0.4kg
編輯推薦
內容提要
半導體材料是指介於金屬和絕緣體之間的電導率為10-3Ω·cm~108Ω·cm的一種具有極大影響力的功能材料,廣泛應用於製作晶體管、集成電路、電力電子器件、光電子器件等領域,支撐著通信、計算機、信息傢電、網絡技術、國防軍工以及近年來興起的光伏、LED等行業的發展。半導體材料及其應用已成為現代社會各個領域的核心和基礎。
目錄
一、基礎標準
GB/T 8756-1988 鍺晶體缺陷圖譜
GB/T 13389-1992 摻硼摻磷矽單晶電阻率與摻雜劑濃度換算規程
GB/T 14264-2009 半導體材料術語
GB/T 14844-1993 半導體材料牌號錶示方法
GB/T 16595-1996 晶片通用網格規範
GB/T 16596-1996 確定晶片坐標係規範
GB/T 30453-2013 矽材料原生缺陷圖譜
YS/T 28-1992 矽片包裝
二、産品標準
GB/T 5238-2009 鍺單晶和鍺單晶片
GB/T 10117-2009 高純銻
GB/T 10118-2009 高純鎵
GB/T 11069-2006 高純二氧化鍺
GB/T 11070-2006 還原鍺錠
GB/T 11071-2006 區熔鍺錠
GB/T 11072-2009 銻化銦多晶、單晶及切割片
GB/T 11093-2007 液封直拉法砷化鎵單晶及切割片
GB/T 11094-2007 水平法砷化鎵單晶及切割片
GB/T 12962-2005 矽單晶
GB/T 12963-2009 矽多晶
GB/T 12964-2003 矽單晶拋光片
GB/T 12965-2005 矽單晶切割片和研磨片
GB/T 14139-2009 矽外延片
GB/T 20228-2006 砷化鎵單晶
GB/T 20229-2006 磷化鎵單晶
GB/T 20230-2006 磷化銦單晶
GB/T 25074-2010 太陽能級多晶矽
GB/T 25075-2010 太陽能電池用砷化鎵單晶
GB/T 25076-2010 太陽電池用矽單晶
GB/T 26065-2010 矽單晶拋光試驗片規範
GB/T 26069-2010 矽退火片規範
GB/T 26071-2010 太陽能電池用矽單晶切割片
GB/T 26072-2010 太陽能電池用鍺單晶
GB/T 29054-2012 太陽能級鑄造多晶矽塊
GB/T 29055-2012 太陽電池用多晶矽片
GB/T 29504-2013 300mm矽單晶
GB/T 29506-2013 300mm矽單晶拋光片
GB/T 29508-2013 300mm矽單晶切割片和磨削片
GB/T 30854-2014 LED發光用氮化鎵基外延片
GB/T 30855-2014 LED外延芯片用磷化鎵襯底
GB/T 30856-2014 LED外延芯片用砷化鎵襯底
GB/T 30858-2014 藍寶石單晶襯底拋光片
GB/T 30861-2014 太陽能電池用鍺襯底片
YS/T 13-2007 高純四氯化鍺
YS/T 43-2011 高純砷
YS 68-2004 砷
YS/T 99-1997 三氧化二砷
YS/T 222-2010 碲錠
YS/T 223-2007 硒
YS/T 257-2009 銦錠
YS/T 264-2012 高純銦
YS/T 265-2012 高純鉛
YS/T 300-2008 鍺精礦
YS/T 651-2007 二氧化硒
YS/T 724-2009 矽粉
YS/T 792-2012 單晶爐用碳/碳復閤材料坩堝
YS/T 816-2012 高純硒
YS/T 817-2012 高純碲
YS/T 838-2012 碲化鎘
YS/T 916-2013 高純鎘
三、管理標準
GB/T 23522-2009 再生鍺原料
GB/T 23523-2009 再生鍺原料中鍺的測定方法
GB 29413-2012 鍺單位産品能源消耗限額
GB 29447-2012 多晶矽企業單位産品能源消耗限額
YS 783-2012 紅外鍺單晶單位産品能源消耗限額
YS/T 840-2012 再生矽料分類和技術條件
作者介紹
文摘
序言
這次的匯編版本,相較於前幾年的版本,在“標準化”的思維上有瞭明顯的進步。它不再僅僅是各國標準的簡單堆砌,而是開始嘗試建立一種跨標準組織(如JEDEC、SEMI等)的統一解釋框架。我記得在對比幾項關於晶圓平整度(TTV)的標準時,發現舊版標準在不同測繪方法間的差異很大,而2014版對此進行瞭解釋和調和,極大地提高瞭我們在國際閤作項目中的溝通效率。閱讀這套書的過程,更像是在進行一場關於“質量語言”的學習。它幫助我理解瞭,在半導體這個高度依賴精度和一緻性的行業裏,“標準”本身就是一種最核心的生産力。那種將復雜的技術指標抽象並固化成易於執行的規範的能力,是這套匯編最讓人敬佩的地方。每一次查閱,都能發現一些之前忽略的細節,這些細節往往是決定産品成敗的關鍵。
評分管理標準分冊的價值,在我看來,是其“隱形”的競爭力所在。很多技術人員往往隻關注材料的性能參數,卻忽略瞭整個供應鏈和質量控製體係的規範性。這本分冊裏關於半導體材料的儲存、運輸、可追溯性以及報廢處理的流程規範,為我們建立內部的ISO管理體係提供瞭絕佳的參考框架。舉個例子,書中對潔淨室環境下的材料交接流程的描述,非常具有操作性,我們直接藉鑒瞭一部分內容來優化瞭我們內部的物料流轉卡製度。此外,它對供應商審計的標準也給齣瞭清晰的指導意見,不再是憑感覺去判斷一個供應商是否閤格,而是有瞭一套硬性的指標來衡量其管理水平。這套書的“管理”部分,其實是將先進的行業最佳實踐固化瞭下來,使得整個生産過程的風險被係統性地降低。對於那些希望將自己的生産體係提升到國際一流水平的企業來說,這部分內容比純技術標準更有長期指導意義。
評分總而言之,這套《正版世半導體材料標準匯編(2014版)》在我個人的工具箱中,已經占據瞭不可替代的位置。它厚重、詳盡,並且充滿瞭實踐的智慧。對於任何一個想在半導體産業鏈中深耕的人來說,它都是一份值得長期投資的資料。我用它來指導新材料的選型、優化現有工藝的控製點,甚至作為新員工培訓的指定教材。雖然技術總是在迭代,但建立在堅實標準之上的工程能力纔是最持久的。這本書的價值不在於提供最新的“黑科技”配方,而在於提供瞭一個穩定、可靠、經過時間檢驗的“參照係”。它的存在,讓我們的工作有瞭一個明確的錨點,使得我們在追求創新的同時,不會迷失在技術細節的海洋裏。可以說,它為整個行業的規範化發展奠定瞭堅實的基礎,是一本難得的工程參考巨著。
評分說實話,我購買這套書主要是衝著“産品標準分冊”去的。我們公司正在進行下一代存儲芯片的研發,對高k介質薄膜的沉積前材料要求極為苛刻。這本分冊裏關於光刻膠、掩模版基闆以及濺射靶材的規格描述,細緻到瞭令人發指的地步。我印象特彆深的是其中關於特定金屬雜質含量的ppm/ppb級彆的控製標準,這些數據直接指導瞭我們采購部門的篩選流程,避免瞭大量的試錯成本。不同於市麵上那些零散的技術手冊,這套匯編提供瞭一個權威的、經過官方認可的基準綫。翻閱過程中,我發現它對不同應用場景下的材料性能要求做瞭明確的區分,比如射頻器件和邏輯器件對材料的介電常數和損耗角正切的要求就各有側重。對於我這種需要從材料源頭控製良率的研發人員來說,這套書的實用價值已經遠遠超齣瞭其定價。它更像是一個“標準操作流程的聖經”,讓人在麵對復雜的材料認證時,心中有數。
評分這本《正版世半導體材料標準匯編(2014版)》真是讓人眼前一亮。我最近一直在研究矽材料的提純工藝,手裏拿著的這套書,可以說是我的“救命稻草”。首先,它在基礎標準的梳理上做得極其紮實,對於那些剛踏入半導體行業的新人來說,簡直就是一本寶典。我記得我剛開始看的時候,光是那些關於晶圓切割精度和錶麵形貌的標準,就讓我對行業的要求有瞭更深刻的理解。它不僅僅是羅列條文,更像是在構建一個完整的知識體係。特彆是關於超純水和特種氣體純度的那些細則,對於我們這些做後端製程的工程師來說,簡直是如獲至寶。我特彆欣賞它對不同標準體係之間的交叉引用,使得我們在查閱資料時,能夠迅速定位到最核心的規範。雖然是2014年的版本,但很多基礎物理和化學參數的標準,至今依然具有極高的參考價值,體現瞭編寫者深厚的行業積纍。如果說有什麼不足,或許是對於近些年新興的第三代半導體材料標準覆蓋得稍微有些滯後,但這對於一本匯編性質的工具書來說,已經非常齣色瞭。
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