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图书介绍

MEMS材料与工艺手册
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林斌彦 著

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发表于2024-12-14

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出版社： 东南大学出版社
ISBN：9787564140533
版次：1
商品编码：11489686
包装：平装
开本：16开
出版时间：2014-03-01
页数：966

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具体描述

内容简介

微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。

前言/序言


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用户评价

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好

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给公司买的，送货很快，全新，正版

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真心不错，留着肯定有用。一门技巧啊

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会哈会哈更会哈更会哈更

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本来没打算了解这么详细，不过618的优惠太好了，所以就买了

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哦哦空空空哦很过分姐姐

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看着很好

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挺好的

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