出版社： 东南大学出版社
ISBN：9787564140533
版次：1
商品编码：11489686
包装：平装
开本：16开
出版时间：2014-03-01
页数：966
具体描述
内容简介
微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。前言/序言
用户评价
评分
内容相当实用，做MEMS必备案头书。唯一缺点就是书太厚，时间久了恐怕要散。
评分好
评分有用
评分好书。。。。。。。。。
评分哦哦空空空哦很过分姐姐
评分有用
评分不错，专业书籍。
评分很好，字迹清晰，下次会再来！
评分有英文原版，写得很好。买一本翻译版对照学习
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