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内容简介

　　《半导体光谱测试方法与技术》在回顾光谱学和光谱仪器的发展过程后，对半导体中涉及的主要光学过程以及半导体材料、器件及应用研究中需要哪些光谱分析手段和方法作了简要介绍，然后以分光（色散）和傅里叶变换两种方法为基础讨论了光谱分析的基本原理、测试仪器、关键部件、系统构成以及限制因素等，并结合一系列测量实例对吸收谱类、光电谱类和发射谱类测量方法与技术及相关细节进行了详细说明。此外，《半导体光谱测试方法与技术》还对半导体研究中涉及的一些拓展的光谱分析方法（如拉曼光谱、微区光谱、扫描成像光谱、时间分辨瞬态光谱及调制光谱等）也结合实例进行了介绍。
　　《半导体光谱测试方法与技术》可供从事半导体光谱分析的研究生、研究人员及工程技术人员阅读，也可作为其他涉及此领域人员的参考书。

内页插图

目录

前言

第1章 光谱学和光谱仪器的发展概况
1．1 引言
1．2 光谱学及其发展一瞥
1．3 光谱学仪器及测量方法发展简述
1．4 小结
参考文献

第2章 半导体中的光学过程
2．1 引言
2．2 半导体的基本光学参数
2．2．1 折射率和吸收系数
2．2．2 反射系数和透射系数
2．3 半导体中的光吸收
2．3．1 带间本征跃迁光吸收
2．3．2 其他类型光吸收
2．4 半导体的发光
2．4．1 辐射复合与非辐射复合
2．4．2 自发辐射与受激辐射
2．4．3 发光效率
2．5 半导体中的光散射
2．5．1 半导体中的光散射解释
2．5．2 拉曼散射与拉曼光谱
2．5．3 布里渊散射
2．6 小结
参考文献

第3章 半导体研究中的光谱测试需求
3．1 引言
3．2 半导体材料研究中的光谱测试需求
3．3 半导体器件研究中的光谱测试需求
3．4 应用研究中的光谱测试需求
3．5 小结
参考文献

第4章 分光光谱仪的组成部件及测量系统
4．1 引言
4．2 分光元件
4．2．1 棱镜分光元件及光学材料的特性
4．2．2 光栅分光元件及其主要参数
4．2．3 其他类型的分光元件
4．3 光源
4．3．1 热光源
4．3．2 气体放电光源
4．3．3 同步辐射光源与自由电子激光器
4．3．4 激光光源
4．4 光电探测器
4．4．1 热辐射型探测器
4．4．2 量子型探测器
4．4．3 阵列型探测器
4．5 电子学部件及计算机
4．6 样品的冷却及温度控制装置
4．7 基于分光光谱仪的测量系统实例
4．8 小结
参考文献

第5章 傅里叶变换光谱仪及其组成部件和测量系统
5．1 引言
5．2 迈克耳孙干涉仪与傅里叶变换光谱仪
5．3 傅里叶变换光谱仪的主要部件
5．3．1 分束器
5．3．2 光源
5．3．3 光电探测器
5．3．4 分束器、光源及光电探测器的组合搭配及外光路配置
5．4 电子学部件、计算机及样品冷却装置
5．5 小结
参考文献

第6章 透射、吸收与反射光谱测量方法及实例
第7章 光电光谱测量方法及实例
第8章 发射光谱测量方法、实例及综合测量系统
第9章 拉曼光谱测量方法及实例
第10章 微区及扫描成像光谱测量方法及实例
第11章 时间分辨光谱测量方法及实例
第12章 调制光谱测量方法及实例
结束语
汉英对照索引
《半导体科学与技术丛书》已出版书目
彩图

前言/序言

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