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内容简介

《高等学校规划教材：真空技术》系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计的原理和方法。主要内容包括稀薄气体分子运动理论、吸附与脱附、真空中的电现象、真空中的气体流动、真空泵的分类与性能、容积式真空泵、动量传递式真空泵、气体捕集式真空泵、真空测量、真空检漏、真空系统的组成、真空系统元件及连接、真空系统中常用材料和真空卫生、真空系统的设计计算等。《高等学校规划教材：真空技术》既注重真空技术中的知识体系，又反映真空技术中的最新发展，具有很强的针对性和实用性。
《高等学校规划教材：真空技术》可作为高等院校真空技术与设备、过程设备与控制工程、材料科学与工程、物理等相关专业本科生、研究生的学习教材，也可供真空技术应用、真空设备制造与使用单位的工程技术人员参考。

目录

1 绪论
1.1 何为真空
1.2 真空度的表征及真空区域的划分
1.3 真空技术的历史回顾
1.4 不同真空状态下的真空工艺技术
1.5 真空技术的应用领域

2 稀薄气体分子运动理论
2.1 气体在平衡状态下的物理特性
2.2 气体的迁移过程
2.3 蒸发和凝结

3 吸附与脱附
3.1 吸附现象及吸附机理
3.2 吸附和脱附过程的描述
3.3 溶解和渗透

4 真空中的电现象
4.1 电子发射
4.2 气体放电

5 真空中的气体流动
5.1 气体流动状态及其判别
5.2 气体的流量和管道流导
5.3 简单管道的流导计算

6 真空泵的分类和性能
6.1 真空泵的分类
6.2 真空泵性能的表示法
6.3 真空泵的用途及使用范围
6.4 真空泵的型号及规格表示法

7 容积式真空泵
7.1 液环真空泵
7.2 往复式真空泵
7.3 油封机械泵
7.4 罗茨真空泵
7.5 干式真空泵

8 动量传递式真空泵
9 气体捕集式真空泵
10 真空测量
11 真空检漏
12 真空系统的组成
13 真空系统元件及连接
14 真空系统中常用材料和真空卫生
15 真空系统的设计计算
参考文献

前言/序言

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真空是指低于大气压力的气体的给定空间，即每立方厘米空间中气体分子数大约少于两千五百亿亿个的给定空间。真空是相对于大气压来说的，并非空间没有物质存在。用现代抽气方法获得的最低压力，每立方厘米的空间里仍然会有数百个分子存在。气体稀薄程度是对真空的一种客观量度 ，最直接的物理量度是单位体积中的气体分子数。气体分子密度越小，气体压力越低，真空就越高。但由于历史原因，量度真空通常都用压力表示。

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为了保证真空系统能达到和保持工作需要的真空，除需要配备合适的、抽气性能良好的真空泵以外，真空系统或其零部件还必须经过严格的检漏，以便消除破坏真空的漏孔。低(粗)真空、中真空和高真空系统一般用气压检漏 ；对于超高真空系统，在采用一般检漏法粗检以后，还要采用灵敏度较高的检漏仪，如卤素检漏仪和质谱检漏仪来检漏。

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本书是真空类的一本专业书，客观来讲，针对真空方面的专业书籍本来就少，此本书作为高等教材已实属不易；但作为国内研究人员所撰写的一本专业书籍，仍脱不了过于拘泥于公式推导，缺少概念上的深刻阐述。本人从事真空系统设计方面工作已有5年，本想从中能够对真空系统设计能够有更深入的理解，无奈最终还是落入了繁杂的公式中，而不得要领，可惜可惜

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