發表於2025-03-15
薄膜晶體管物理、工藝與SPICE建模 pdf epub mobi txt 電子書 下載
內容簡介
本書以顯示麵闆設計和製造過程中的經驗為依據,詳細分析並闡述瞭TFT的器件物理、製造工藝以及SPICE建模的相關內容。全書分為6章。靠前章闡述瞭TFT用於平闆顯示的技術原理,以及針對TFT進行SPICE建模前所需要掌握的基礎知識。第2章、第3章內容主要是針對a-Si TFT進行的分析和闡述。其中,第2章分析瞭目前産業界常用的a-Si TFT的結構、相關的工藝過程、材料以及器件的物理性質。第3章則詳細分析瞭a-Si TFT的SPICE模型,並對每個模型參數的物理意義及其在TFT特性麯綫上的作用進行瞭分析。第4章、第5章分析瞭LTPS TFT的器件物理、工藝及SPICE模型。第6章針對目前新型的IGZO工藝進行瞭闡述,主要介紹瞭IGZO材料及器件的物理性質,以及業界廣泛采用的IGZO TFT的結構和工藝過程。 雷東 著 雷東,內濛古包頭市人,畢業於浙江大學材料係矽材料國傢重點實驗室,研究領域為半導體矽材料。薄膜晶體管物理、工藝與SPICE建模 pdf epub mobi txt 電子書 下載