半導體薄膜技術與物理（材料科學與工程 第2版）/高等院校材料專業係列規劃教材 [Physics and Technology of Semiconductor Thin Films(Materials Science and Engineering)] pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

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葉誌鎮，呂建國，呂斌，張銀珠 著

圖書標籤:

• 半導體
• 薄膜技術
• 材料科學
• 材料工程
• 物理
• 半導體物理
• 薄膜材料
• 高等教育
• 教材
• 納米技術

齣版社： 浙江大學齣版社

ISBN：9787308139106

版次：2

商品編碼：11612952

包裝：平裝

叢書名： “十二五”普通高等教育本科國傢級規劃教材 ，

外文名稱：Physics and Technology of Semiconductor Thin Films(Materials Science and Engineering)

開本：

編輯推薦

　　《半導體薄膜技術與物理（第2版）/“十二五”普通高等教育本科國寶規劃教材》介紹半導體薄膜的真空技術；物理氣相沉積技術（PVD）；化學氣相沉積技術（CVD）；分子束外延技術；液相外延技術等內容。

內容簡介

　　《半導體薄膜技術與物理（材料科學與工程 第2版）/高等院校材料專業係列規劃教材》全麵係統地介紹瞭半導體薄膜的各種製備技術及其相關的物理基礎。全書共分十章。第一章概述瞭真空技術，第二至第八章分彆介紹瞭蒸發、濺射、化學氣相沉積、脈衝激光沉積、分子束外延、液相外延、濕化學閤成等各種半導體薄膜的沉積技術，第九章介紹瞭半導體超晶格、量子阱的基本概念和理論，第十章介紹瞭典型薄膜半導體器件的製備技術。
　　《半導體薄膜技術與物理（材料科學與工程 第2版）/高等院校材料專業係列規劃教材》文字敘述上力求做到深入淺齣，內容上深度和寬度相結閤，理論和實踐相結閤，以半導體薄膜技術為重點，結閤半導體材料和器件的性能介紹，同時還介紹瞭半導體薄膜技術與物理領域的新概念、新進展、新成果和新技術。
　　《半導體薄膜技術與物理（材料科學與工程 第2版）/高等院校材料專業係列規劃教材》具有內容翔實、概念清楚、圖文並茂的特點。
　　《半導體薄膜技術與物理（材料科學與工程 第2版）/高等院校材料專業係列規劃教材》讀者對象廣泛，可作為高等院校材料、物理、電子、化學等學科的研究生或高年級本科生的半導體薄膜技術課程的教材，也可作為從事半導體材料、薄膜材料、光電器件等領域的科研人員、工程技術人員的參考書籍。

作者簡介

　　葉誌鎮，男，1955年5月生於浙江溫州。1987年獲浙江大學光儀係工學博士學位；畢業後留校工作，1990～1992年留學美國麻省理工學院（MIT）；1994年晉升為教授；1996年選為博導。現為浙江大學材料與化學工程學院副院長、浙江大學納米中心主任。1988年進入浙江大學材料係，在矽材料國傢重點實驗室一直從事半導體薄膜教學科研工作，主要研究方嚮：Zn0薄膜材料製備、物性調控及光電應用；納米薄層材料高真空CVD技術研發及應用。現兼任國傢自然科學基金委信息科學部評審組成員，全國電子材料專委副主任，全國半導體與集成技術、半導體材料和半導體物理專委委員等。

內頁插圖

目錄

第1章 真空技術
1.1 真空的基本概念
1.1.1 真空的定義
1.1.2 真空度單位
1.1.3 真空區域劃分
1.2 真空的獲得
1.3 真空度測量
1.3.1 熱傳導真空計
1.3.2 熱陰極電離真空計
1.3.3 冷陰極電離真空計
1.4 真空度對薄膜工藝的影響
參考文獻

第2章 蒸發技術
2.1 發展曆史與簡介
2.2 蒸發的種類
2.2.1 電阻熱蒸發
2.2.2 電子束蒸發
2.2.3 高頻感應蒸發
2.2.4 激光束蒸發
2.2.5 反應蒸發
2.3 蒸發的應用實例
2.3.1 Cu（In，Ga）Se2薄膜
2.3.2 ITO薄膜
參考文獻

第3章 濺射技術
3.1 濺射基本原理
3.2 濺射主要參數
3.2.1 濺射閾和濺射産額
3.2.2 濺射粒子的能量和速度
3.2.3 濺射速率和澱積速率
3.3 濺射裝置及工藝
3.3.1 陰極濺射
3.3.2 三極濺射和四極濺射
3.3.3 射頻濺射
3.3.4 磁控濺射
3.3.5 反應濺射
3.4 離子成膜技術
3.4.1 離子鍍成膜
3.4.2 離子柬成膜
3.5 濺射技術的應用
3.5.1 濺射生長過程
3.5.2 濺射生長ZnO薄膜的性能
參考文獻

第4章 化學氣相沉積
4.1 概述
4.2 矽化學氣相沉積
4.2.1 CVD反應類型
4.2.2 CVD熱力學分析
4.2.3 CVD動力學分析
4.2.4 不同矽源的外延生長
4.2.5 成核
4.2.6 摻雜
4.2.7 外延層質量
4.2.8 生長工藝
4.3 CVD技術的種類
4.3.1 常壓CVD
4.3.2 低壓CVD
4.3.3 超高真空CVD
4.4 能量增強CVD技術
4.4.1 等離子增強CVD
4.4.2 光增強CVD
4.5 鹵素輸運法
4.5.1 氯化物法
4.5.2 氫化物法
4.6 MOCVD技術
4.6.1 MOCVD簡介
4.6.2 MOCVD生長GaAs
4.6.3 MOCVD生長GaN
4.6.4 MOCVD生長ZnO
4.7 特色CVD技術
4.7.1 選擇外延CVD技術
4.7.2 原子層外延
參考文獻

第5章 脈衝激光沉積
5.1 脈衝激光沉積概述
5.2 PLD的基本原理
5.2.1 激光與靶的相互作用
5.2.2 燒蝕物的傳輸
5.2.3 燒蝕粒子在襯底上的沉積
5.3 顆粒物的抑製
5.4 PLD在Ⅱ-Ⅵ族化閤物薄膜中的應用
5.4.1 Zn0薄膜的PLD生長
5.4.2 其他Ⅱ-Ⅵ族化閤物的PLD生長
參考文獻

第6章 分子束外延
6.1 引言
6.2 分子束外延的原理和特點
6.3 外延生長設備
6.4 分子束外延生長矽
6.4.1 錶麵製備
6.4.2 外延生長
6.4.3 摻雜
6.4.4 外延膜的質量診斷
6.5 分子束外延生長Ⅲ-V族化閤物半導體材料和結構
6.5.1 MBE生長GaAs
6.5.2 MBE生長InAs／GaAs
6.5.3 MBE生長GaN
6.6 分子束外延生長Ⅱ一Ⅵ族化閤物半導體材料和結構
6.6.1 HgCdTe材料
6.6.2 CdTe／Si的外延生長
6.6.3 HgCdTe／Si的外延生長
6.6.4 ZnSe、ZnTe
6.6.5 ZnO薄膜
6.7 分子束外延生長其他半導體材料和結構
6.7.1 SiC材料
6.7.2 生長小尺寸Ge／Si量子點
6.7.3 生長有機半導體薄膜
參考文獻

第7章 液相外延
7.1 液相外延生長的原理
7.1.1 液相外延基本概況
7.1.2 矽液相外延生長的原理
7.2 液相外延生長方法和設備
7.3 液相外延生長的特點
7.4 液相外延的應用實例
7.4.1 矽材料
7.4.2 Ⅲ-族化閤物半導體材料
7.4.3 碲鎘汞材料
7.4.4 SiC材料
參考文獻

第8章 濕化學製備方法
8.1 溶膠一凝膠技術
8.1.1 Sol-Gel的生長機製
8.1.2 Sol-Gel的工藝過程
8.1.3 Sol-Gel閤成TiO2薄膜
8.1.4 Sol-Gel的優點和缺點
8.2 噴霧熱分解技術
8.2.1 噴霧熱分解的種類
8.2.2 噴霧熱分解的生長過程
8.2.3 噴霧熱分解的應用介紹
8.2.4 噴霧熱分解製備ZnO薄膜
8.3 液相電沉積技術
8.3.1 電沉積簡介
8.3.2 電沉積製備類金剛石薄膜
參考文獻

第9章 半導體超晶格和量子阱
9.1 引言
9.2 半導體超晶格、量子阱的概念和分類
9.2.1 組分超晶格
9.2.2 摻雜超晶格
9.2.3 應變超晶格
9.2.4 調製摻雜超晶格
9.3 半導體超晶格、量子阱的量子特性
9.3.1 量子約束效應
9.3.2 量子隧穿和超晶格微帶效應
9.3.3 共振隧穿效應
9.4 半導體超晶格、量子阱的結構和器件應用介紹
9.4.1 GaAs／AlxGa1-xAs體係
9.4.2 ZnSe基異質結、量子阱結構
參考文獻

第10章 半導體器件製備技術
10.1 襯底材料的清洗
10.2 發光二極管
10.2.1 GaN基LED
10.2.2 ZnO基LED
10.2.3 白光LED
10.3 薄膜晶體管
10.3.1 薄膜晶體管的工作原理
10.3.2 非晶矽薄膜晶體管
10.3.3 多晶矽薄膜晶體管
10.3.4 有機薄膜晶體管
10.3.5 ZnO薄膜晶體管
10.4 光電探測器
10.4.1 光電導探測器
10.4.2 肖特基型光電探測器
10.4.3 p-n結型光電探測器
10.4.4 改進型光電二極管
參考文獻

前言/序言

《半導體薄膜技術與物理》（材料科學與工程 第2版）是一部係統深入介紹半導體薄膜領域知識的著作，旨在為高等院校材料專業學生及相關領域的研究人員提供紮實的理論基礎和前沿的技術視野。本書緊密結閤材料科學與工程學科的發展趨勢，聚焦於半導體薄膜這一在現代電子信息技術中占據核心地位的關鍵材料。 全書內容涵蓋瞭半導體薄膜的製備技術、物理特性、器件應用以及新興發展方嚮。在製備技術方麵，本書詳細闡述瞭多種主流的薄膜生長方法，包括但不限於化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、分子束外延（MBE）、原子層沉積（ALD）等。對於每種技術，書中不僅介紹瞭其基本原理、工藝流程、設備構成，還深入分析瞭影響薄膜質量的關鍵參數，如溫度、壓力、氣氛、前驅體選擇、基底準備等，並討論瞭不同製備技術在製備特定類型半導體薄膜（如單晶、多晶、非晶）時的優劣勢和適用範圍。此外，針對大規模集成電路製造中的關鍵步驟，如薄膜的摻雜、刻蝕、鈍化等工藝，本書也進行瞭詳盡的介紹。 在薄膜物理特性部分，本書重點剖析瞭半導體薄膜所錶現齣的獨特物理現象及其形成機理。這包括薄膜的晶體結構、相變行為、應力效應、界麵物理、輸運特性（如電子和空穴的導電性、載流子遷移率、散射機製）、光學性質（如吸收、透射、反射、摺射）、電學性質（如介電常數、電導率、擊穿電壓）以及磁學和熱學特性等。書中結閤瞭量子力學、固體物理學、半導體物理學等基礎理論，對薄膜中存在的尺寸效應、錶麵效應、量子限製效應等進行瞭深入的探討。尤其強調瞭薄膜微觀結構（如晶界、位錯、點缺陷、雜質分布）對其宏觀物理性能的影響，並提供瞭相關的錶徵手段和分析方法，如X射綫衍射（XRD）、透射電子顯微鏡（TEM）、掃描電子顯微鏡（SEM）、原子力顯微鏡（AFM）、拉曼光譜、光緻發光（PL）、X射綫光電子能譜（XPS）、紫外光電子能譜（UPS）等。 針對器件應用，本書係統介紹瞭半導體薄膜在各類電子器件中的關鍵作用。具體而言，本書深入探討瞭薄膜在晶體管（如MOSFETs、FinFETs）、二極管、光電器件（如太陽能電池、LEDs、光探測器）、傳感器、存儲器件（如相變存儲器、鐵電存儲器）以及MEMS器件等中的應用。書中解釋瞭不同半導體薄膜材料（如矽、化閤物半導體、寬禁帶半導體、有機半導體、二維材料等）如何通過其獨特的電學和光學性質，實現特定的器件功能。同時，本書也關注瞭薄膜在高性能、高集成度、低功耗等方麵的技術挑戰，以及如何通過優化薄膜材料和製備工藝來提升器件性能和可靠性。 此外，本書緊隨學科前沿，對新興發展方嚮進行瞭展望。這包括瞭對下一代半導體材料（如III-V族、II-VI族化閤物半導體，以及氧化物半導體、二維材料如石墨烯、過渡金屬硫化物等）的深入研究，以及它們在超越摩爾定律時代的先進器件中的潛力。同時，本書也探討瞭半導體薄膜在柔性電子、可穿戴設備、生物電子學、光子學以及新能源技術（如固態電池、催化劑）等新興交叉領域的應用前景。 本書結構清晰，邏輯嚴謹，語言精煉，既有理論高度，又有實踐指導意義。每章結束後通常會配備習題，幫助讀者鞏固所學知識。第二版在保留第一版核心內容的基礎上，根據近年來半導體薄膜技術與物理研究的最新進展，對部分章節進行瞭更新和補充，增加瞭新的研究成果和技術應用案例，使其更具時效性和參考價值。本書適閤作為高等院校材料科學與工程、微電子學、物理學等專業本科生和研究生的教材或參考書，也是半導體材料、器件、工藝等領域的研究人員和工程師的寶貴參考資料。

評分☆☆☆☆☆

對於我這樣從事相關領域研究的學生來說，一本權威的教材不僅是知識的來源，更是思維的啓迪。我希望這本書能夠提供一些啓發性的思考，引導我從更宏觀的角度去審視半導體薄膜技術的發展趨勢和未來挑戰。例如，書中是否會討論一些尚未解決的科學難題，或者預測未來可能齣現的新技術和新材料？這些前瞻性的內容，對於培養科研人纔至關重要，能夠激發我的創新思維，讓我對未來的研究方嚮有一個更清晰的認識。

評分☆☆☆☆☆

書中對“材料科學與工程”這個學科背景的體現，我也很期待。半導體薄膜技術是材料科學和工程學科的一個重要分支，它融閤瞭物理、化學、材料學、電子學等多個領域的知識。我希望這本書能夠清晰地展示這種學科交叉的特點，例如，在討論製備技術時，會不會涉及相關的化學反應動力學和熱力學原理？在分析薄膜性能時，又是否會結閤材料的微觀結構和缺陷對宏觀性質的影響？這種綜閤性的視角，能夠幫助我更好地理解材料科學在工程應用中的重要性。

評分☆☆☆☆☆

這本書的結構安排，從我初步瀏覽的感受來看，是相當係統和有邏輯的。它似乎是從最基礎的半導體材料特性講起，然後逐步深入到各種薄膜的製備技術，再到相關的物理原理和器件應用。這種由淺入深、層層遞進的講解方式，非常適閤像我這樣想要係統性地學習半導體薄膜技術的人。我注意到書中大量的圖錶和公式，這些都是學術著作不可或缺的元素，它們不僅直觀地展示瞭抽象的概念，也為深入研究提供瞭理論基礎。我猜測，書中對不同薄膜材料的比較分析，以及它們在不同應用場景下的優劣勢的闡述，一定會非常精彩，能夠幫助讀者快速建立起對整個領域的宏觀認識。

評分☆☆☆☆☆

我非常注重一本書的參考文獻和索引。一本好的專業書籍，其參考文獻列錶往往是通往更深層次研究的寶藏，而詳細準確的索引則能幫助讀者快速定位所需信息。我期待這本書能夠提供一個詳盡的參考文獻列錶，涵蓋經典文獻和最新的研究成果，方便我進行進一步的學術探索。同時，一個條理清晰、檢索方便的索引，能夠大大提高我的閱讀效率，讓我在查找特定概念、技術或材料時，能夠迅速找到相關章節，避免大海撈針的煩惱。

評分☆☆☆☆☆

我一直在尋找一本能夠幫助我理解不同半導體薄膜材料之間差異的書。比如，矽、砷化鎵、氮化鎵、氧化鋅等，它們各自有什麼獨特的物理化學性質？在製備過程中又有哪些特殊的挑戰和要求？書中會不會對這些主流的半導體薄膜材料進行係統的梳理和比較，從晶體結構、能隙、載流子遷移率、擊穿電壓、光學帶隙等多個維度進行深入分析，並闡述它們在不同應用領域的優勢和局限性？這將極大地拓寬我的視野，幫助我選擇閤適的材料來解決特定的工程問題。

評分☆☆☆☆☆

這本書的封麵設計著實吸引人，那種沉穩而又不失科技感的藍色調，配閤上清晰的書名和係列標識，瞬間就讓我覺得這是一本內容紮實的學術著作。我拿到這本書的時候，首先就被它厚實的裝幀和紙張的質感所打動，那種略帶啞光的紙張，即使在強光下閱讀，也不會感到刺眼，觸感也相當舒適，這對於需要長時間閱讀的專業書籍來說，無疑是加分項。我尤其欣賞的是它印刷的清晰度，無論是文字還是圖錶，都非常銳利，即使是那些復雜的半導體器件結構圖，也能清晰地呈現齣每一個細節，這對於理解那些微觀世界的運作原理至關重要。

評分☆☆☆☆☆

這本書的“應用”部分，我猜想一定涵蓋瞭當前半導體薄膜技術在各個領域的最新進展。我非常好奇書中會介紹哪些具體的器件，比如LED、激光器、太陽能電池、晶體管、傳感器等。它們是如何利用半導體薄膜的特性來實現功能的？書中會不會詳細講解這些器件的工作原理，以及薄膜在其中扮演的關鍵角色？我希望能夠看到一些實際的器件結構圖和性能指標，這有助於我將理論知識與實際應用聯係起來，瞭解半導體薄膜技術是如何驅動現代科技發展的。

評分☆☆☆☆☆

物理部分的內容也是我關注的焦點。半導體薄膜的性能，歸根結底是由其內在的物理特性決定的。書中會深入探討哪些半導體物理概念？比如載流子的輸運機製、能帶結構、光學特性、錶麵和界麵效應等等。對於這些復雜的物理現象，我希望書中能夠提供清晰的解釋和嚴謹的推導，同時輔以必要的數學模型和仿真結果，以便我能夠更好地理解薄膜的電學行為和光學響應。尤其是一些前沿的物理現象，如量子限製效應、激子等，如果書中能有詳細的介紹，那將是巨大的驚喜。

評分☆☆☆☆☆

我特彆期待書中在“製備技術”部分的內容。我一直對薄膜的生長機理非常感興趣，比如CVD、PVD、MBE等技術，它們是如何在原子層麵精確地控製薄膜的厚度和結構，從而實現特定的電學、光學或磁學性能的？書中會不會詳細介紹這些技術的原理、設備、工藝參數對薄膜質量的影響，以及它們各自的優缺點和適用範圍？我希望能夠看到一些具體的實驗案例或者研究成果，通過實際的例子來加深理解，而不是僅僅停留在理論層麵。畢竟，理論聯係實際是學習技術類知識的關鍵。

評分☆☆☆☆☆

作為一本“高等院校材料專業係列規劃教材”，它的定位顯然是麵嚮教學和科研。我希望這本書的語言風格是嚴謹而不失清晰的，既能滿足專業研究生的需求，也能讓高年級本科生有所受益。書中會不會提供一些習題或者案例分析，幫助讀者鞏固所學知識，檢驗學習效果？這些輔助性的教學內容，對於提升學習的深度和廣度是非常有幫助的。如果這本書能夠成為我學習和研究路上的得力助手，那將是對我而言最有價值的評價。

評分☆☆☆☆☆

東西質量很好，送貨速度快，好評！

評分☆☆☆☆☆

內容不錯，很有幫助，包裝好。

評分☆☆☆☆☆

速度非常快，書的質量也不錯，值得推薦。

評分☆☆☆☆☆

不錯，雖然有些簡略，文獻給的也不全，總算把各種方法介紹的比較全麵瞭。

評分☆☆☆☆☆

不錯啊，哈哈。。。。

評分☆☆☆☆☆

不錯啊，哈哈。。。。

評分☆☆☆☆☆

與圖片描述一一緻，紙質還可以，物流迅速。

評分☆☆☆☆☆

京東自營的書有時候會有汙漬，不知道那裏來的。。。下次注意呀，這本書應該是個介紹類型的^_^還沒仔細看。。。哈哈哈哈

評分☆☆☆☆☆

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