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编辑推荐

适读人群 ：材料物理专业，物理学专业的研究生和高年级的本科生
　　薄膜在微电子器件、磁存储介质和表面封装等技术应用领域发挥着重要作用，《薄膜材料：应力、缺陷的形成和表面演化》全面阐述了薄膜中的应力以及因其产生的缺陷形成和表面演化等问题。《薄膜材料：应力、缺陷的形成和表面演化》内容兼顾理论、实验和计算机模拟，适合工程技术人员、材料科学和物理学研究人员阅读。《薄膜材料：应力、缺陷的形成和表面演化》英文版被美国哈佛大学、布朗大学、麻省理工学院、斯坦福大学等大学用作研究生教材。

内容简介

　　《薄膜材料：应力、缺陷的形成和表面演化》总结了过去几十年里薄膜材料的研究进展，同时将重点放在薄膜中内应力的起源、发展及其影响等诸多方面，书中不仅系统考虑了薄膜。基底系统或多层膜系统的整体变形及薄膜的断裂、脱层和翘曲，而且还考虑了更小尺度上薄膜中位错的形成及非弹性变形。薄膜中应力的影响与薄膜材料结构之间的联系贯穿于整书的讨论。通过举例计算和有实际意义的实例分析及讨论，更加具体地阐明了书中的基本概念，并于每章后附有习题。
　　《薄膜材料：应力、缺陷的形成和表面演化》可供从事材料科学和工程及相关研究领域工作，特别是从事薄膜材料研究的科技人员和微电子机械领域从事设计制造的工程技术人员阅读，也可作为有关专业的研究生和大学高年级本科生的教材和参考书。《薄膜材料：应力、缺陷的形成和表面演化》英文版被美国哈佛大学、布朗大学、麻省理工学院、斯坦福大学等大学用作研究生教材。

内页插图

目录

第1章 引言和总论
1．1 薄膜组态分类
1．2 薄膜沉积方法
1．2．1 物理气相沉积
1．2．2 化学气相沉积
1．2．3 热喷涂沉积
1．2．4 实例：热障涂层
1．3 气相沉积薄膜的生长方式
1．3．1 从气相到吸附原子
1．3．2 从吸附原子到薄膜生长
1．3．3 自由表面或界面的能量密度
1．3．4 表面应力
1．3．5 基于表面能的生长方式
1．4 薄膜微观结构
1．4．1 外延膜
1．4．2 实例：垂直孔洞表面发射激光
1．4．3 多晶体膜
1．4．4 实例：磁存储介质薄膜
1．5 微电子结构的制备
1．5．1 光刻
1．5．2 铜互联体的大马士革加工
1．6 MEMS结构的制备
1．6．1 整体微加工
1．6．2 表面微加工
1．6．3 成型加工
1．6．4 NEMS结构
1．6．5 实例：振动梁细菌探测器
1．7 薄膜应力源
1．7．1 薄膜应力的分类
1．7．2 外延薄膜中的应力
1．8 多晶体薄膜中的生长应力
1．8．1 岛合并前的压缩应力
1．8．2 实例：表面覆盖的影响
1．8．3 岛接触引起的拉应力
1．8．4 连续生长过程中的压缩应力
1．8．5 最终应力与晶粒结构间的关系
1．8．6 应力演变的其他机制
1．9 薄膜应力的后果
1．10 习题

第2章 薄膜应力和基底曲率
2．1 stoney方程
2．1．1 实例：外延应变引起的曲率
2．1．2 实例：热应变引起的曲率
2．2 薄膜厚度对双层薄膜曲率的影响
2．2．1 任意薄膜厚度的基底曲率
2．2．2 实例：双层薄膜最大热应力
2．2．3 温度调节双金属片的历史记录
2．3 曲率测量方法
2．3．1 扫描激光法
2．3．2 多束光学应力敏感技术
2．3．3 光栅反射法
2．3．4 相干梯度传感器方法
2．4 层状和成分梯度薄膜
2．4．1 非均匀错配应变和弹性性能
2．4．2 错配应变中的恒定梯度
2．4．3 实例：成分梯度薄膜的应力
2．4．4 周期多层薄膜
2．4．5 实例：多层薄膜整体热弹性响应
2．4．6 微小总厚度的多层薄膜
2．4．7 实例：薄多层膜中的应力
2．5 几何非线性变形范围
2．5．1 线性范围的极限
2．5．2 非线性范围内的轴对称变形
2．6 平衡形状的分叉
2．6．1 均匀曲率的分叉分析
2．6．2 均匀曲率状态的可视化
2．6．3 -般曲率变化的分叉
2．6．4 基底曲率变形图
2．6．5 实例：Cu／Si系统的曲率图
2．7 习题

第3章 各向异性和图形薄膜中的应力
3．1 弹性各向异性
……
第4章 脱层和断裂
第5章 薄膜的翘曲、鼓包和剥离
第6章 外延系统中的位错形成
第7章 位错交互作用和应变弛豫
第8章 表面的平衡和稳定性
第9章 应力在传质中的作用
参考文献
英汉名词索引

前言/序言

　　《薄膜材料》英文版（第一版）于2003年12月由英国剑桥大学出版社出版，我们对世界各地的同行和研究人员给予该书的反馈信息深表感谢。
　　《薄膜材料》中文版的出版为我们提供了一个特别的机会，把我们对这种有趣并且有用的材料的理解以他们自己的语言传播给中国的学生、研究人员和工程师，他们辛勤工作在一个科学技术和教育等领域正经历翻天覆地变化的国度里。我们感谢中国科学院金属研究所的同行对这本书细致的翻译工作。我们特别感谢卢磊研究员的热忱奉献和在开展这项翻译工作中的杰出组织领导：特别感谢金属研究所疲劳与断裂国家重点实验室前主任王中光研究员，在本书整个的翻译过程中，他提供了宝贵的帮助、意见和建议。
　　我们还要真诚地感谢卢磊研究员以及她的同事，包括陶乃镕博士、张广平博士、史亦农博士、张磊博士、王镇波博士，他们为完成本书的翻译付出了艰辛的劳动。感谢中国工程院前副院长、中国国家自然科学基金委员会顾问师昌绪先生。他热情地为本书中文版作序。感谢中国科学出版社为本书的出版提供了财政支持。同时我们也感谢剑桥大学出版社在组织这次翻译中的合作和协助。
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